Kísildíoxíðskífa SiO2 skífa þykk fáður, grunn- og prófunarstig
Kynning á oblátukassa
Vara | Thermal Oxide (Si+SiO2) oblátur |
Framleiðsluaðferð | LPCVD |
Yfirborðsfæging | SSP/DSP |
Þvermál | 2 tommur / 3 tommur / 4 tommur / 5 tommur / 6 tommur |
Gerð | P gerð / N gerð |
Þykkt oxunarlag | 100nm ~1000nm |
Stefna | <100> <111> |
Rafmagnsviðnám | 0,001-25000(Ω•cm) |
Umsókn | Notað fyrir synchrotron geislunarsýnisburðarefni, PVD/CVD húðun sem undirlag, segulrót sputtering vaxtarsýni, XRD, SEM,Atómkraftur, innrauð litrófsgreining, flúrljómunarrófsgreining og önnur prófunarhvarfefni fyrir greiningar, vaxtarhvarfefni sameindageisla, röntgengreining á kristalluðum hálfleiðurum |
Kísiloxíðskífur eru kísildíoxíðfilmur sem ræktaðar eru á yfirborði kísilþráða með súrefni eða vatnsgufu við háan hita (800°C ~ 1150°C) með hitaoxunarferli með loftþrýstingsofnrörbúnaði.Þykkt ferlisins er á bilinu 50 nanómetrar til 2 míkron, ferlishitastigið er allt að 1100 gráður á Celsíus, vaxtaraðferðinni er skipt í "blautt súrefni" og "þurrt súrefni" tvenns konar.Thermal Oxide er "vaxið" oxíðlag, sem hefur meiri einsleitni, betri þéttingu og meiri rafstyrk en CVD útfellt oxíðlag, sem leiðir til betri gæði.
Oxun á þurru súrefni
Kísill hvarfast við súrefni og oxíðlagið færist stöðugt í átt að undirlagslaginu.Þurroxun þarf að fara fram við hitastig frá 850 til 1200°C, með lægri vaxtarhraða, og er hægt að nota fyrir MOS einangrað hliðarvöxt.Þurr oxun er valin fram yfir blaut oxun þegar hágæða, ofurþunnt kísiloxíðlag er krafist.Þurroxunargeta: 15nm ~ 300nm.
2. Blaut oxun
Þessi aðferð notar vatnsgufu til að mynda oxíðlag með því að fara inn í ofnrörið við háhitaskilyrði.Þétting blauts súrefnisoxunar er örlítið verri en þurr súrefnisoxun, en í samanburði við þurr súrefnisoxun er kostur þess að hún hefur meiri vaxtarhraða, hentugur fyrir meira en 500nm filmuvöxt.Rakoxunargeta: 500nm ~ 2µm.
Loftþrýstingsoxunarofnrör AEMD er tékkneskt lárétt ofnrör, sem einkennist af mikilli ferlistöðugleika, góðri einsleitni filmu og yfirburða agnastýringu.Kísiloxíð ofnrörið getur unnið allt að 50 oblátur í hverju röri, með framúrskarandi einsleitni innan og milli obláta.