Jóngeisla-pússunarvél fyrir safír SiC Si

Stutt lýsing:

Jóngeisla-flögunar- og fægingarvélin byggir á meginreglunni umjónaspúttrunInni í hálofttæmishólfi myndar jónagjafi plasma sem er hröðuð í orkuríkan jónageisla. Þessi geisli lendir á yfirborði ljósleiðarans og fjarlægir efni á frumeindaskala til að ná fram afar nákvæmri yfirborðsleiðréttingu og frágangi.

Senda okkur tölvupóst

Eiginleikar

Ítarlegt skýringarmynd

Yfirlit yfir vöru á jóngeisla fægingarvél

Jóngeislaformunar- og fægingarvélin byggir á meginreglunni um jónaspútrun. Inni í hálofttæmishólfi býr jónagjafi til plasma sem er hröðuð í orkuríkan jónegeisla. Þessi geisli lendir á yfirborði ljósleiðarans og fjarlægir efni á frumeindaskala til að ná fram afar nákvæmri yfirborðsleiðréttingu og frágangi.

Þar sem jóngeislapólun er snertilaus aðferð útilokar hún vélrænt álag og kemur í veg fyrir skemmdir undir yfirborði, sem gerir hana tilvalda til framleiðslu á nákvæmum ljósleiðurum sem notaðar eru í stjörnufræði, geimferðum, hálfleiðurum og háþróaðri rannsóknarvinnu.

Vinnuregla jóngeisla fægingarvélarinnar

Jónamyndun
Óvirkt gas (t.d. argon) er leitt inn í lofttæmishólfið og jónað með rafúthleðslu til að mynda plasma.

Hröðun og geislamyndun
Jónarnir eru hraðaðir upp í nokkur hundruð eða þúsund rafeindavolt (eV) og mótaðir í stöðugan, einbeittan geislablett.

Efnisflutningur
Jóngeislinn spútar atómum líkamlega af yfirborðinu án þess að hefja efnahvörf.

Villugreining og leiðarskipulagning
Frávik í yfirborðsmyndum eru mæld með truflunarmælingum. Fjarlægingarföll eru notuð til að ákvarða dvalartíma og búa til bestu mögulegu verkfæraleiðir.

Leiðrétting í lokuðum lykkjum
Endurteknar vinnslu- og mælingalotur halda áfram þar til RMS/PV nákvæmnismarkmiðum er náð.

Helstu eiginleikar jóngeisla-pússunarvélarinnar

Alhliða yfirborðssamhæfni– Vinnur úr sléttum, kúlulaga, askúlulaga og frjálsum yfirborðum

Mjög stöðugur flutningshraði– Gerir kleift að leiðrétta tölur undir nanómetra

Skemmdalaus vinnsla– Engir gallar í undirlagi eða breytingar á burðarvirki

Stöðug frammistaða– Virkar jafn vel á efni af mismunandi hörku

Leiðrétting á lágum/miðlungs tíðni– Útilokar villur án þess að mynda artifacts á mið-/hátíðni

Lítil viðhaldsþörf– Langur samfelldur rekstur með lágmarks niðurtíma

Helstu tæknilegar upplýsingar um jóngeisla-pússunarvél

Vara	Upplýsingar
Vinnsluaðferð	Jónaspútrun í umhverfi með miklu lofttæmi
Vinnslugerð	Snertilaus yfirborðsslípun og pússun
Hámarksstærð vinnustykkis	Φ4000 mm
Hreyfiásar	3-ása / 5-ása
Stöðugleiki fjarlægingar	≥95%
Yfirborðsnákvæmni	PV < 10 nm; RMS ≤ 0,5 nm (dæmigert RMS < 1 nm; PV < 15 nm)
Tíðnileiðréttingargeta	Fjarlægir villur við lága/miðlungs tíðni án þess að valda villum við miðlungs/háa tíðni
Stöðug rekstur	3–5 vikur án viðhalds á ryksugu
Viðhaldskostnaður	Lágt

Vinnslugeta jóngeisla-pússunarvélar

Studdar yfirborðsgerðir

Einfalt: Flatt, kúlulaga, prisma

Flókið: Samhverf/ósamhverf askúla, askúla utan ás, sívalningslaga

Sérstakt: Ofurþunn ljósfræði, rimlaljósfræði, hálfkúlulaga ljósfræði, samsíða ljósfræði, fasaplötur, frjálsform yfirborð

Stuðningsefni

Ljósgler: Kvars, örkristallað, K9, o.fl.

Innrautt efni: Kísill, germaníum o.fl.

Málmar: Ál, ryðfrítt stál, títanblöndur o.s.frv.

Kristallar: YAG, einkristallað kísillkarbíð o.s.frv.

Hart/brothætt efni: Kísilkarbíð o.s.frv.

Yfirborðsgæði / nákvæmni

PV < 10 nm

RMS ≤ 0,5 nm

Vinnsludæmisögur um jóngeisla-pússunarvél

Dæmi 1 – Venjulegur flatur spegill

Vinnustykki: D630 mm kvars flatt

Niðurstaða: PV 46,4 nm; RMS 4,63 nm

Dæmi 2 – Röntgenspegill

Vinnustykki: 150 × 30 mm kísillplata

Niðurstaða: PV 8,3 nm; RMS 0,379 nm; Halli 0,13 µrad

Dæmi 3 – Spegill utan ássins

Vinnustykki: Spegill utan ássins, 326 mm, jarðvegur

Niðurstaða: PV 35,9 nm; RMS 3,9 nm

Algengar spurningar um kvarsgler

Algengar spurningar – Jóngeisla-pússunarvél

Q1: Hvað er jóngeislapólun?
A1:Jóngeislapólun er snertilaus aðferð sem notar einbeitta jónageisla (eins og argonjónir) til að fjarlægja efni af yfirborði vinnustykkis. Jónarnir eru hraðaðir og beint að yfirborðinu, sem veldur því að efni er fjarlægt á frumeindastigi og gefur afar slétta áferð. Þessi aðferð útilokar vélrænt álag og skemmdir undir yfirborði, sem gerir hana tilvalda fyrir nákvæma ljósfræðilega íhluti.

Spurning 2: Hvaða gerðir af yfirborðum getur jóngeisla-pússunarvélin unnið með?
A2:HinnJóngeisla fægingarvélgetur unnið með fjölbreytt yfirborð, þar á meðal einfalda ljósfræðilega íhluti eins ogflatar, kúlur og prismur, sem og flóknar rúmfræði eins ogaspherur, aspherur utan ássinsogfrjálsformað yfirborðÞað er sérstaklega áhrifaríkt á efni eins og ljósgler, innrauða ljósfræði, málma og hörð/brothætt efni.

Spurning 3: Með hvaða efni getur jóngeisla-pússunarvélin unnið?
A3:HinnJóngeisla fægingarvélgetur pússað fjölbreytt efni, þar á meðal:

SjónglerKvars, örkristallað, K9, o.s.frv.
Innrautt efniKísill, germaníum o.s.frv.
MálmarÁl, ryðfrítt stál, títan ál, o.s.frv.
Kristal efniYAG, einkristallað kísilkarbíð o.s.frv.
Önnur hörð/brothætt efniKísilkarbíð, o.s.frv.

Um okkur

XKH sérhæfir sig í hátækniþróun, framleiðslu og sölu á sérstökum ljósleiðaraefnum og nýjum kristalefnum. Vörur okkar þjóna ljósleiðaraiðnaði, neytendarafeindatækni og hernum. Við bjóðum upp á safír-ljósleiðaraíhluti, linsulok fyrir farsíma, keramik, LT, kísilkarbíð SIC, kvars og hálfleiðarakristallskífur. Með hæfni og nýjustu búnaði skarum við fram úr í óstöðluðum vöruvinnslum og stefnum að því að vera leiðandi hátæknifyrirtæki í ljósleiðaraefnum.