English

Stefnumörkunarkerfi fyrir mælingar á kristalstefnu

Stefnumótakerfi fyrir mælingar á kristallastefnu - Mynd af valinni mynd
  • Stefnumörkunarkerfi fyrir mælingar á kristalstefnu
  • Stefnumörkunarkerfi fyrir mælingar á kristalstefnu
  • Stefnumörkunarkerfi fyrir mælingar á kristalstefnu
  • Stefnumörkunarkerfi fyrir mælingar á kristalstefnu

Stutt lýsing:

Stefnumótartæki fyrir skífur er nákvæmt tæki sem notar meginreglur röntgengeislunar til að hámarka framleiðslu á hálfleiðurum og efnisfræðiferla með því að ákvarða kristallafræðilegar stefnur. Kjarnaþættir þess eru röntgengeislunargjafi (t.d. Cu-Kα, 0,154 nm bylgjulengd), nákvæmur goniometer (hornupplausn ≤0,001°) og skynjarar (CCD eða sindurmælir). Með því að snúa sýnum og greina dreifingarmynstur reiknar það út kristallafræðilegar vísitölur (t.d. 100, 111) og grindarbil með ±30 bogasekúndna nákvæmni. Kerfið styður sjálfvirkar aðgerðir, lofttæmisfestingu og fjölása snúning, samhæft við 2-8 tommu skífur fyrir hraðar mælingar á brúnum skífna, viðmiðunarflötum og röðun epitaxial laga. Helstu notkunarsvið fela í sér skurðstýrt kísilkarbíð, safírskífur og staðfestingu á háhitaafköstum túrbínublaða, sem eykur beint rafmagnseiginleika flísarinnar og afköst.


Eiginleikar

Kynning á búnaði

Skífustefnumælir eru nákvæmnistæki byggð á röntgengeislun (XRD) meginreglum, aðallega notuð í framleiðslu hálfleiðara, ljósfræðilegra efna, keramik og annarra kristallaefnaiðnaðar.

Þessi tæki ákvarða stefnu kristalgrindanna og leiðbeina nákvæmum skurðar- eða slípunarferlum. Helstu eiginleikar eru meðal annars:

  • Mælingar með mikilli nákvæmni:Getur leyst upp kristallafræðileg fleti með hornupplausn allt niður í 0,001°.
  • Samrýmanleiki stórra úrtaka:Styður skífur allt að 450 mm í þvermál og 30 kg að þyngd, hentugur fyrir efni eins og kísilkarbíð (SiC), safír og kísill (Si).
  • ​​Mótunarhönnun:Stækkanlegir virkni felur í sér greiningu á vaggakúrfum, þrívíddar kortlagningu yfirborðsgalla og staflunarbúnað fyrir vinnslu margra sýna.

Lykil tæknilegir þættir

Færibreytuflokkur

Dæmigert gildi/stillingar

Röntgengeislunargjafi

Cu-Kα (0,4×1 mm brennipunktur), 30 kV hröðunarspenna, 0–5 mA stillanleg rörstraumur

​​Hornsvið

θ: -10° til +50°; 2θ: -10° til +100°

Nákvæmni

Upplausn hallahorns: 0,001°, greining á yfirborðsgöllum: ±30 bogasekúndur (vögguferill)

Skannhraði

Omega-skönnun lýkur fullri grindarstefnu á 5 sekúndum; Theta-skönnun tekur ~1 mínútu

Dæmi um stig

V-gróp, loftsog, snúningur í mörgum hornum, samhæft við 2–8 tommu skífur

Stækkanlegar aðgerðir

Greining á vaggkúrfum, þrívíddarkortlagning, staflunarbúnaður, greining á sjónrænum göllum (rispur, GB)

Vinnuregla

1. Röntgengeislunargreiningargrunnur

  • Röntgengeislar hafa samskipti við atómkjarna og rafeindir í kristalgrindinni og mynda þannig dreifingarmynstur. Lögmál Braggs (nλ = 2d sinθ) stjórnar sambandi dreifingarhorna (θ) og grindarfjarlægðar (d).
    Skynjarar fanga þessi mynstur, sem eru greind til að endurgera kristallafræðilega uppbyggingu.

2. Omega skönnunartækni

  • Kristallinn snýst stöðugt um fastan ás á meðan röntgengeislar lýsa hann upp.
  • Skynjarar safna dreifingarmerkjum yfir mörg kristallafræðileg fleti, sem gerir kleift að ákvarða stefnu grindarinnar að fullu á 5 sekúndum.

3. Greining á sveiflukúrfum

  • Fast kristalhorn með mismunandi röntgengeislunarhornum til að mæla breidd tinda (FWHM), meta grindargalla og álag.

4. Sjálfvirk stjórnun

  • PLC- og snertiskjáviðmót gera kleift að forstilla skurðarhorn, fá endurgjöf í rauntíma og samþættingu við skurðarvélar fyrir lokaða lykkjustýringu.

Vafrarstefnumælir 7

Kostir og eiginleikar

1. Nákvæmni og skilvirkni

  • Hornnákvæmni ±0,001°, upplausn gallagreiningar <30 bogasekúndur.
  • Skannhraði Omega er 200 sinnum hraðari en hefðbundinnar Theta-skannunar.

2. Mátkerfi og stigstærð

  • Stækkanlegt fyrir sérhæfð notkun (t.d. SiC-skífur, túrbínublöð).
  • Samþættist MES kerfum fyrir rauntíma framleiðslueftirlit.

3. Samhæfni og stöðugleiki

  • Tekur við óreglulega löguðum sýnum (t.d. sprungnum safírstöngum).
  • Loftkæld hönnun dregur úr viðhaldsþörf.

4. Greindaraðgerðir

  • Kvörðun með einum smelli og fjölverkavinnsla.
  • Sjálfvirk kvörðun með viðmiðunarkristöllum til að lágmarka mannleg mistök.

Stefnumótartæki fyrir skífur 5-5

Umsóknir

1. Framleiðsla hálfleiðara

  • ​​Stefnumörkun skífuskurðar: Ákvarðar stefnu Si, SiC og GaN skífa til að hámarka skurðarvirkni.
  • ​​Gallakortlagning: Greinir rispur eða tilfærslur á yfirborði til að bæta flísafköst.

2. Ljósfræðileg efni

  • Ólínulegir kristallar (t.d. LBO, BBO) fyrir leysigeislatæki.
  • Viðmiðunaryfirborðsmerking á safírskífu fyrir LED undirlag.

3. Keramik og samsett efni

  • Greinir kornastefnu í Si3N4 og ZrO2 fyrir notkun við háan hita.

4. Rannsóknir og gæðaeftirlit

  • Háskólar/rannsóknarstofur fyrir þróun nýrra efna (t.d. málmblöndur með háu entropíu).
  • Iðnaðargæðaeftirlit til að tryggja samræmi í lotum.

Þjónusta XKH

XKH býður upp á alhliða tæknilega aðstoð við líftíma mælitækja til að stefnumóta skífur, þar á meðal uppsetningu, hagræðingu á ferlisbreytum, greiningu á sveiflukúrfum og þrívíddarkortlagningu á yfirborðsgöllum. Sérsniðnar lausnir (t.d. tækni til að stafla stálstöngum) eru veittar til að auka skilvirkni framleiðslu hálfleiðara og ljósleiðara um meira en 30%. Sérstakt teymi veitir þjálfun á staðnum, en fjarstuðningur allan sólarhringinn og hraðvirk varahlutaskipti tryggja áreiðanleika búnaðarins.

  • Fyrri:
  • Næst:

    • Tengdar vörur

    Skrifaðu skilaboðin þín hér og sendu þau til okkar
    Ýttu á Enter til að leita eða ESC til að loka