Ofurnákvæmt SiC loftlagerstig
Ítarlegt skýringarmynd
Yfirlit
Með sífelldri þróun hálfleiðaraiðnaðarins krefjast vinnslu- og skoðunarbúnaður sífellt meiri afkösta. Byggjandi á mikilli þekkingu á hreyfistýringu og staðsetningu á nanómetrastigi höfum við þróað flatt H-gerð tvíása afar nákvæmt loftburðarstig.
Stigið er hannað með kísilkarbíði (SiC) keramikbyggingu sem er fínstillt með endanlegum þáttum og með loftlagningartækni, og býður upp á framúrskarandi nákvæmni, stífleika og kraftmikið viðbragð. Það hentar fullkomlega fyrir:
-
Hálfleiðaravinnsla og skoðun
Ör-/nanóframleiðsla og mælifræði
Fluguskurður og fæging á nanómetraskala
Háhraða nákvæmniskönnun
Lykilatriði
-
Loftleiðarar úr SiCfyrir afar mikla stífleika og nákvæmni
-
Mikil kraftmikil: hraði allt að 1 m/s, hröðun allt að 4 g, hröð niðurgangur
-
Tvöfaldur drifgangur Y-ástryggir mikla burðargetu og stöðugleika
-
Valkostir kóðara: ljósrist eða leysirinterferometer
-
Staðsetningarnákvæmni: ±0,15 μm;endurtekningarhæfni±75 nm
-
Bjartsýni á leiðsögn kaplafyrir hreina hönnun og langtímaáreiðanleika
-
Sérsniðnar stillingarfyrir sértækar þarfir forrita
Mjög nákvæm hönnun og bein drif, snertilaus arkitektúr
-
SiC keramik rammi~5 sinnum stífleiki áls og ~5 sinnum minni varmaþensla, sem tryggir stöðugleika við mikinn hraða og varmaþol.
-
Bætt loftlagningSérhönnun eykur stífleika, burðarþol og stöðugleika í hreyfingu.
-
Dynamísk afköstStyður 1 m/s hraða og 4 g hröðun, tilvalið fyrir háafköst.
-
Óaðfinnanleg samþættingSamhæft við titringseinangrunarkerfi, snúningsstig, hallaeiningar og meðhöndlunarpalla fyrir skífur.
-
KapalstjórnunStýrður beygjuradíus lágmarkar spennu og lengir endingartíma.
-
Kjarnalaus línulegur mótorMjúk hreyfing án tannhjólaafls.
-
Fjölmótor drifStaðsetning mótorsins í álagsplani bætir beinni, flatneskju og nákvæmni í horni.
-
VarmaeinangrunMótorar eru einangraðir frá sviðsgrindinni; valfrjáls loft- eða vatnskæling fyrir mikla notkunarlotur.
Upplýsingar
| Fyrirmynd | 400-400 | 500-500 | 600-600 |
|---|---|---|---|
| Öxar | X (skönnun) / Y (skref) | X (skönnun) / Y (skref) | X (skönnun) / Y (skref) |
| Ferðalag (mm) | 400 / 400 | 500 / 500 | 600 / 600 |
| Nákvæmni (μm) | ±0,15 | ±0,2 | ±0,2 |
| Endurtekningarhæfni (nm) | ±75 | ±100 | ±100 |
| Upplausn (nm) | 0,3 | 0,3 | 0,3 |
| Hámarkshraði (m/s) | 1 | 1 | 1 |
| Hröðun (g) | 4 | 4 | 4 |
| Beinleiki (μm) | ±0,2 | ±0,3 | ±0,4 |
| Stöðugleiki (nm) | ±5 | ±5 | ±5 |
| Hámarksálag (kg) | 20 | 20 | 20 |
| Halli/velti/beygja (boga-sekúndur) | ±1 | ±1 | ±1 |
Prófunarskilyrði:
-
Loftframboð: hreint, þurrt; döggpunktur ≤ 0°F; agnasíun ≤ 0,25 μm; eða 99,99% köfnunarefni.
-
Nákvæmni mæld 25 mm fyrir ofan miðju sviðisins við 20 ± 1 °C, 40–60% RH.
Umsóknir
-
Hálfleiðaralitografía, skoðun og meðhöndlun á skífum
-
Ör-/nanóframleiðsla og nákvæmnismælingar
-
Háþróuð ljósfræðiframleiðsla og truflunarmælingar
-
Flug- og geimferðafræði og háþróaðar vísindarannsóknir
Algengar spurningar – Loftlagðarstig úr kísillkarbíði
1. Hvað er loftberandi stig?
Loftþrýstipallur notar þunna filmu af þrýstilofti milli pallsins og leiðarbrautarinnar til að veitanúninglaus, slitlaus og afar mjúk hreyfingÓlíkt hefðbundnum vélrænum legum kemur það í veg fyrir að legurnir renni, skilar nákvæmni á nanómetrastigi og styður við langtímaáreiðanleika.
2. Hvers vegna er kísilkarbíð (SiC) notað fyrir sviðsbygginguna?
-
Mikil stífleiki~5 sinnum meiri en álfelgur, sem lágmarkar aflögun við hreyfingu.
-
Lítil hitauppþensla~5x lægra en ál, sem viðheldur nákvæmni við hitasveiflur.
-
LétturLægri eðlisþyngd samanborið við stál, sem gerir kleift að nota mikinn hraða og með mikilli hröðun.
-
Frábær stöðugleikiFramúrskarandi dempun og stífleiki fyrir afar nákvæma staðsetningu.
3. Þarf sviðið smurningu eða viðhald?
Engin hefðbundin smurning er nauðsynleg þar sem það erengin vélræn snertingRáðlagt viðhald felur í sér:
-
Að útvegahreint, þurrt þrýstiloft eða köfnunarefni
-
Reglubundin skoðun á síum og þurrkurum
-
Eftirlit með kaplum og kælikerfum
4. Hverjar eru kröfur um loftflæði?
-
Döggpunktur: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
-
Ögnasíun: ≤ 0,25 μm
-
Hreint, þurrt loft eða 99,99% hreint köfnunarefni
-
Stöðugur þrýstingur með lágmarks sveiflum
Um okkur
XKH sérhæfir sig í hátækniþróun, framleiðslu og sölu á sérstökum ljósleiðaraefnum og nýjum kristalefnum. Vörur okkar þjóna ljósleiðaraiðnaði, neytendarafeindatækni og hernum. Við bjóðum upp á safír-ljósleiðaraíhluti, linsulok fyrir farsíma, keramik, LT, kísilkarbíð SIC, kvars og hálfleiðarakristallskífur. Með hæfni og nýjustu búnaði skarum við fram úr í óstöðluðum vöruvinnslum og stefnum að því að vera leiðandi hátæknifyrirtæki í ljósleiðaraefnum.
