Kísilkarbíð (SiC) skífubátur

Stutt lýsing:

Kísilkarbíð (SiC) skífubáturinn er hálfleiðaraflutningsburðarefni úr hágæða SiC efni, hannað til að halda og flytja skífur í mikilvægum háhitaferlum eins og epitaxíu, oxun, dreifingu og glæðingu.

Senda okkur tölvupóst

Eiginleikar

Ítarlegt skýringarmynd

Yfirlit yfir kvarsgler

Með hraðri þróun aflleiðara og breitt bandgapstækja standa hefðbundnir kvarsbátar frammi fyrir takmörkunum eins og aflögun við hátt hitastig, mikilli agnamengun og stuttum endingartíma. SiC-skífubátar, sem eru með yfirburða hitastöðugleika, litla mengun og lengri endingartíma, eru í auknum mæli að koma í stað kvarsbáta og verða ákjósanlegur kostur í framleiðslu á SiC-tækjum.

Lykilatriði

1. Efnislegir kostir

Framleitt úr hágæða SiC meðmikil hörku og styrkur.
Bræðslumark yfir 2700°C, mun hærra en kvars, sem tryggir langtímastöðugleika í öfgafullu umhverfi.

2. Varmaeiginleikar

Mikil varmaleiðni fyrir hraðan og jafnan varmaflutning, sem lágmarkar álag á skífur.
Varmaþenslustuðullinn (CTE) passar náið við SiC undirlag, sem dregur úr beygju og sprungum í skífum.

3. Efnafræðilegur stöðugleiki

Stöðugt við hátt hitastig og ýmsar lofthjúpa (H₂, N₂, Ar, NH₃, o.s.frv.).
Frábær oxunarþol, kemur í veg fyrir niðurbrot og agnamyndun.

4. Frammistaða ferlisins

Slétt og þétt yfirborð dregur úr losun agna og mengun.
Viðheldur víddarstöðugleika og burðarþoli eftir langtímanotkun.

5. Hagkvæmni

3–5 sinnum lengri endingartími en kvartsbátar.
Lægri viðhaldstíðni, sem dregur úr niðurtíma og kostnaði við endurnýjun.

Umsóknir

SiC epitaxíaStyður 4 tommu, 6 tommu og 8 tommu SiC undirlag við háhita epitaxial vöxt.
Framleiðsla á aflgjöfumTilvalið fyrir SiC MOSFET, Schottky-díóður (SBD), IGBT og önnur tæki.
HitameðferðGlæðing, nítrering og kolefnismyndunarferli.
Oxun og dreifingStöðugur stuðningspallur fyrir skífur fyrir oxun og dreifingu við háan hita.

Tæknilegar upplýsingar

Vara	Upplýsingar
Efni	Háhreint kísillkarbíð (SiC)
Stærð skífu	4 tommur / 6 tommur / 8 tommur (hægt að sérsníða)
Hámarks rekstrarhiti	≤ 1800°C
Varmaþenslu CTE	4,2 × 10⁻⁶ /K (nálægt SiC undirlagi)
Varmaleiðni	120–200 W/m²K
Yfirborðsgrófleiki	Ra < 0,2 μm
Samsíða	±0,1 mm
Þjónustulíftími	≥ 3x lengri en kvarsbátar

Samanburður: Kvarsbátur vs. SiC-bátur

Stærð	Kvarsbátur	SiC bátur
Hitaþol	≤ 1200°C, aflögun við háan hita.	≤ 1800°C, hitastöðugt
CTE samsvörun við SiC	Mikil ósamræmi, hætta á álagi á skífu	Náið samsvörun, dregur úr sprungum í skífum
Mengun agna	Hátt, myndar óhreinindi	Lágt, slétt og þétt yfirborð
Þjónustulíftími	Stutt, tíð skipti	Langur, 3–5 sinnum lengri líftími
Hentugt ferli	Hefðbundin Si epitaxía	Bjartsýni fyrir SiC epitaxy og aflgjafatæki

Algengar spurningar – Kísilkarbíð (SiC) skífubátar

1. Hvað er SiC skífubátur?

SiC-skífubátur er hálfleiðaraflutningsbúnaður úr hágæða kísilkarbíði. Hann er notaður til að halda og flytja skífur við háhitaferli eins og epitaxíu, oxun, dreifingu og glæðingu. Í samanburði við hefðbundna kvarsbáta bjóða SiC-skífubátar upp á betri hitastöðugleika, minni mengun og lengri endingartíma.

2. Af hverju að velja SiC skífubáta frekar en kvarsbáta?

Hærri hitastigsþolStöðugt allt að 1800°C samanborið við kvars (≤1200°C).
Betri CTE samsvörunNálægt SiC undirlögum, sem lágmarkar álagi og sprungur á skífum.
Minni agnamyndunSlétt og þétt yfirborð dregur úr mengun.
Lengri líftími3–5 sinnum lengri en kvartsbátar, sem lækkar eignarhaldskostnað.

3. Hvaða stærðir af skífum geta SiC skífubátar stutt?

Við bjóðum upp á staðlaðar hönnunir fyrir4 tommur, 6 tommur og 8 tommurvöfflur, með fullri sérsniðningu í boði til að mæta þörfum viðskiptavina.

4. Í hvaða ferlum eru SiC skífubátar almennt notaðir?

SiC epitaxial vöxtur
Framleiðsla á aflleiðurum (SiC MOSFET, SBD, IGBT)
Háhitaglæðing, nítrering og kolefnismyndun
Oxunar- og dreifingarferli

Um okkur

XKH sérhæfir sig í hátækniþróun, framleiðslu og sölu á sérstökum ljósleiðaraefnum og nýjum kristalefnum. Vörur okkar þjóna ljósleiðaraiðnaði, neytendarafeindatækni og hernum. Við bjóðum upp á safír-ljósleiðaraíhluti, linsulok fyrir farsíma, keramik, LT, kísilkarbíð SIC, kvars og hálfleiðarakristallskífur. Með hæfni og nýjustu búnaði skarum við fram úr í óstöðluðum vöruvinnslum og stefnum að því að vera leiðandi hátæknifyrirtæki í ljósleiðaraefnum.