Kísilkarbíð demantvírskurðarvél 4/6/8/12 tommu SiC hleifavinnsla

Stutt lýsing:

Kísilkarbíð Diamond Wire skurðarvél er eins konar hárnákvæmni vinnslubúnaður sem er tileinkaður kísilkarbíð (SiC) hleifsneið, með því að nota Diamond Wire Saw tækni, í gegnum háhraða hreyfanlegur demantur vír (lína þvermál 0,1 ~ 0,3 mm) til SiC hleifar fjölvíra klippingu, til að ná mikilli nákvæmni, lágskemmdum þynnu undirbúningi. Búnaðurinn er mikið notaður í SiC aflhálfleiðara (MOSFET/SBD), útvarpsbylgjubúnaði (GaN-on-SiC) og vinnslu á undirlagi fyrir sjón rafeindabúnað, er lykilbúnaður í SiC iðnaðarkeðjunni.

Sendu tölvupóst til okkar

Upplýsingar um vöru

Vörumerki

Vinnureglu:

1. Hleifafesting: SiC hleifur (4H/6H-SiC) er festur á skurðarpallinum í gegnum festinguna til að tryggja staðsetningu nákvæmni (±0,02 mm).

2. Demantslína hreyfing: demantlína (rafhúðaðar demantagnir á yfirborðinu) er knúin áfram af stýrihjólakerfinu fyrir háhraða hringrás (línuhraði 10~30m/s).

3. Skurðarfóður: hleifurinn er fóðraður meðfram settri stefnu og demantlínan er skorin samtímis með mörgum samsíða línum (100 ~ 500 línur) til að mynda margar oblátur.

4. Kæling og flísahreinsun: Sprautaðu kælivökva (afjónað vatn + aukefni) á skurðarsvæðið til að draga úr hitaskemmdum og fjarlægja flís.

Lykilfæribreytur:

1. Skurðarhraði: 0,2 ~ 1,0 mm/mín (fer eftir kristalstefnu og þykkt SiC).

2. Línuspenna: 20 ~ 50N (of hátt auðvelt að brjóta línu, of lágt hefur áhrif á skurðarnákvæmni).

3.Wafer þykkt: staðall 350 ~ 500μm, wafer getur náð 100μm.

Helstu eiginleikar:

(1) Skurð nákvæmni
Þykktarþol: ±5μm (@350μm oblátur), betri en hefðbundin steypuhræraskurður (±20μm).

Yfirborðsgrófleiki: Ra<0,5μm (ekki þarf viðbótarslípun til að draga úr magni síðari vinnslu).

Skeiðing: <10μm (dregur úr erfiðleikum við síðari fægja).

(2) Vinnslu skilvirkni
Marglínuskurður: skera 100~500 stykki í einu, auka framleiðslugetu 3~5 sinnum (á móti stakri línuskurði).

Línulíf: Demantslínan getur skorið 100 ~ 300 km SiC (fer eftir hörku hleifs og hagræðingu ferlisins).

(3) Lítil skemmdavinnsla
Brún brot: <15μm (hefðbundin skurður >50μm), bætir afrakstur obláta.

Skaðalag undir yfirborði: <5μm (minnkið fjarlægingu fægja).

(4) Umhverfisvernd og hagkerfi
Engin steypuhræra mengun: Minni kostnaður við förgun úrgangs vökva samanborið við skurð á steypuhræra.

Efnisnýting: Skurð tap <100μm/ skeri, sparar SiC hráefni.

Skurður áhrif:

1. Gæði obláta: engar stórsæjar sprungur á yfirborðinu, fáir smásæir gallar (stýranleg liðskiptilenging). Getur beint farið inn í gróft fægja tengilinn, stytt ferliflæðið.

2. Samræmi: þykkt frávik skúffunnar í lotunni er <±3%, hentugur fyrir sjálfvirka framleiðslu.

3.Applicability: Stuðningur við 4H / 6H-SiC hleifaskurð, samhæft við leiðandi / hálfeinangruð gerð.

Tæknilýsing:

Forskrift	Upplýsingar
Mál (L × B × H)	2500x2300x2500 eða sérsníða
Stærðarsvið vinnsluefnis	4, 6, 8, 10, 12 tommur af kísilkarbíði
Grófleiki yfirborðs	Ra≤0,3u
Meðalskurðarhraði	0,3 mm/mín
Þyngd	5,5t
Skref fyrir stillingar á skurðarferli	≤30 skref
Tækjahljóð	≤80 dB
Stálvírspenna	0 ~ 110N (0,25 vírspenna er 45N)
Stálvírhraði	0~30m/S
Algjör kraftur	50kw
Þvermál demantsvír	≥0,18 mm
Enda flatneskju	≤0,05 mm
Skurð- og brothraði	≤1% (nema af mannlegum ástæðum, sílikonefni, lína, viðhald og aðrar ástæður)

XKH þjónusta:

XKH veitir alla vinnsluþjónustu kísilkarbíð demantvíraskurðarvélar, þar á meðal val á búnaði (þvermál vír/hraðasamsvörun), vinnsluþróun (hagræðing klippibreytu), framboð á rekstrarvörum (demantursvír, stýrihjól) og stuðningur eftir sölu (viðhald búnaðar, skurðgæðagreining), til að hjálpa viðskiptavinum að ná háum ávöxtun (> 95%), litlum framleiðslukostnaði á SiC skúffu. Það býður einnig upp á sérsniðnar uppfærslur (svo sem ofurþunnur skurður, sjálfvirk hleðsla og afferming) með 4-8 vikna afgreiðslutíma.