Kísilkarbíð demantvír skurðarvél 4/6/8/12 tommu SiC ingot vinnsla

Stutt lýsing:

Skurðarvél fyrir demantvír úr kísilkarbíði er eins konar nákvæmnisvinnslubúnaður sem er hannaður til að sneiða kísilkarbíð (SiC) stöng. Með því að nota demantvírsögtækni er hægt að skera marga víra úr demantvír (línuþvermál 0,1 ~ 0,3 mm) í SiC stöng með mikilli nákvæmni og litlum skemmdum. Búnaðurinn er mikið notaður í SiC aflleiðaravinnslu (MOSFET / SBD), útvarpsbylgjutækjavinnslu (GaN-on-SiC) og undirlagsvinnslu ljósrafrænna tækja, og er lykilbúnaður í SiC iðnaðarkeðjunni.

Senda okkur tölvupóst

Eiginleikar

Vinnuregla:

1. Festing á stálstöng: SiC stálstöng (4H/6H-SiC) er fest á skurðarpallinn með festingunni til að tryggja nákvæmni staðsetningar (±0,02 mm).

2. Hreyfing demantslínunnar: Demantslínan (rafhúðaðar demantagnar á yfirborðinu) er knúin áfram af leiðarhjólakerfinu fyrir háhraða dreifingu (línuhraði 10 ~ 30 m / s).

3. Skurðfóðrun: Götin eru fóðruð eftir stilltri átt og demantslínan er skorin samtímis með mörgum samsíða línum (100 ~ 500 línur) til að mynda margar skífur.

4. Kæling og flísafjarlæging: Úðið kælivökva (afjónuðu vatni + aukefnum) á skurðarsvæðið til að draga úr hitaskemmdum og fjarlægja flísar.

Lykilbreytur:

1. Skurðurhraði: 0,2~1,0 mm/mín (fer eftir kristalstefnu og þykkt SiC).

2. Línuspenna: 20~50N (of mikil, auðvelt að brotna á línu, of lág, hefur áhrif á nákvæmni skurðar).

3. Þykkt skífu: staðall 350 ~ 500μm, skífa getur náð 100μm.

Helstu eiginleikar:

(1) Skurðarnákvæmni
Þykktarþol: ±5μm (@350μm skífa), betra en hefðbundin steypuhræraskurður (±20μm).

Yfirborðsgrófleiki: Ra <0,5 μm (engin viðbótarslípun nauðsynleg til að draga úr síðari vinnslu).

Aflögun: <10μm (dregur úr erfiðleikum við síðari pússun).

(2) Vinnsluhagkvæmni
Fjöllínuskurður: skurður á 100~500 stykki í einu, sem eykur framleiðslugetu um 3~5 sinnum (á móti skurði í einni línu).

Líftími línunnar: Demantslínan getur skorið 100~300 km af SiC (fer eftir hörku stálstöngarinnar og hagræðingu ferlisins).

(3) Vinnsla með litlum skaða
Kantbrot: <15μm (hefðbundin skurður >50μm), bætir afköst skífunnar.

Skemmdalag undir yfirborði: <5μm (minnkar þörfina á að fægja).

(4) Umhverfisvernd og hagkerfi
Engin mengun múrs: Minnkuð kostnaður við förgun úrgangsvökva samanborið við múrskurð.

Efnisnýting: Skurðtap <100μm/skera, sem sparar SiC hráefni.

Skurðuráhrif:

1. Gæði skífunnar: Engar stórar sprungur á yfirborðinu, fáir smásæir gallar (stýranleg útvíkkun). Getur farið beint inn í grófa slípunina, stytt ferlið.

2. Samræmi: Þykktarfrávik skífunnar í lotunni er <±3%, hentugur fyrir sjálfvirka framleiðslu.

3. Notkunarmöguleiki: Styður 4H/6H-SiC ingotsskurð, samhæft við leiðandi/hálf-einangruð gerð.

Tæknilegar upplýsingar:

Upplýsingar	Nánari upplýsingar
Stærð (L × B × H)	2500x2300x2500 eða sérsníða
Stærðarsvið vinnsluefnis	4, 6, 8, 10, 12 tommur af kísilkarbíði
Yfirborðsgrófleiki	Ra≤0,3u
Meðalskurðarhraði	0,3 mm/mín
Þyngd	5,5 tonn
Skref fyrir stillingu skurðarferlisins	≤30 skref
Hávaði búnaðar	≤80 dB
Spenna stálvírs	0~110N (0,25 vírspenna er 45N)
Hraði stálvírs	0~30m/S
Heildarafl	50 kílóvatt
Þvermál demantsvírs	≥0,18 mm
Enda flatnæmi	≤0,05 mm
Skurður og brothraði	≤1% (að undanskildum mannlegum ástæðum, kísillefni, lína, viðhaldi og öðrum ástæðum)

XKH þjónusta:

XKH býður upp á alla þjónustu við skurðarvélar fyrir demantvír úr kísilkarbíði, þar á meðal val á búnaði (samræmingu vírþvermáls/vírhraða), þróun ferla (hagræðing skurðarbreyta), framboð á rekstrarvörum (demantvír, stýrihjól) og þjónustu eftir sölu (viðhald búnaðar, greining á skurðgæðum) til að hjálpa viðskiptavinum að ná mikilli afköstum (>95%), lágkostnaði við fjöldaframleiðslu á SiC-skífum. Það býður einnig upp á sérsniðnar uppfærslur (eins og ultraþunna skurð, sjálfvirka hleðslu og losun) með 4-8 vikna afhendingartíma.