Kísilkarbíð keramikbakki sogskál kísill karbíð keramik rör framboð Há hitastig sintrun sérsniðin vinnsla

Stutt lýsing:

Kísilkarbíð keramikbakki og kísil karbíð keramikrör eru ómissandi afkastamikil efni í hálfleiðara framleiðslu. Kísilkarbíð keramikbakki er aðallega notaður við vinnslu á fjólu sem er fastur og leggur, til að tryggja stöðugleika í háu nákvæmni ferli; Kísilkarbíð keramikrör eru mikið notuð í háhitaofn rör, dreifingarofn og aðrar sviðsmyndir til að standast öfgafullt umhverfi og viðhalda skilvirkri hitauppstreymi. Báðir eru byggðir á sílikon karbíði sem kjarnaefnið, sem hefur orðið lykilþáttur í hálfleiðaraiðnaðinum vegna framúrskarandi eðlisfræðilegra og efnafræðilegra eiginleika.

Sendu tölvupóst til okkar

Vöruupplýsingar

Vörumerki

Helstu eiginleikar:

1. kísil karbíð keramikbakki
- Mikil hörku og slitþol: Hörku er nálægt tígli og þolir vélrænan slit í vinnslu á þurrkum í langan tíma.
- Mikil hitaleiðni og lítill hitauppstreymisstuðull: hröð hitaleiðni og víddarstöðugleiki, forðast aflögun af völdum hitauppstreymis.
- Mikil flatleiki og yfirborðsáferð: Flata yfirborðsins er upp að míkronstiginu og tryggir fullan snertingu milli skífunnar og disksins, sem dregur úr mengun og skemmdum.
Efnafræðilegur stöðugleiki: Sterk tæringarþol, hentugur fyrir blauthreinsun og ætingarferli við framleiðslu hálfleiðara.
2. Kísilkarbíð keramikrör
- Háhitaþol: Það getur virkað í háhitaumhverfi yfir 1600 ° C í langan tíma, hentugur fyrir hálfleiðara háhitaferli.
Framúrskarandi tæringarþol: ónæmir fyrir sýrum, basa og ýmsum efnafræðilegum leysum, sem henta fyrir harkalegt ferliumhverfi.
- Mikil hörku og slitþol: Standast standandi veðrun agna og vélrænni slit, lengja þjónustulífið.
- Mikil hitaleiðni og lítill stuðull hitauppstreymis: hröð leiðni hita og víddar stöðugleika, draga úr aflögun eða sprungum af völdum hitauppstreymis.

Vörubreytu ：

Silicon Carbide keramikbakki breytu:

(Efnislegar eignir)		(Eining)	(SSIC)
(Sic innihald)		(Wt)%	> 99
(Meðal kornastærð)		míkron	4-10
(Þéttleiki)		kg/dm3	> 3.14
(Augljós porosity)		VO1%	<0,5
(Vickers hörku)	HV 0,5	GPA	28
() Sveigjanleiki styrkur (þrjú stig)	20ºC	MPA	450
(Þjöppunarstyrkur)	20ºC	MPA	3900
(Teygjanlegt stuðull)	20ºC	GPA	420
(Brot hörku)		MPA/M '%	3.5
(Hitaleiðni)	20 ° C.	W/(m*k)	160
(Viðnám)	20 ° C.	Ohm.cm	106-108
(Hitauppstreymisstuðull)	A (RT ** ... 80 ° C)	K-1*10-6	4.3
(Hámarks rekstrarhiti)		OºC	1700

Silicon Carbide keramikrör breytu:

Hlutir	Vísitala
α-sic	99% mín
Augljós porosity	16% hámark
Magnþéttleiki	2,7g/cm3 mín
Beygja styrk við háan hita	100 MPa mín
Stuðull hitauppstreymis	K -1 4.7x10 -6
Stuðull hitaleiðni (1400 ° C)	24 w/mk
Max. Vinnuhitastig	1650ºC

Helstu umsóknir:

1. kísil karbíð keramikplata
- Skurður og fægja skífu: þjónar sem burðarpallur til að tryggja mikla nákvæmni og stöðugleika við skurði og fægingu.
- Lithography ferli: Gafinn er festur í litografsvélinni til að tryggja mikla nákvæmni staðsetningu meðan á útsetningu stendur.
- Efnafræðileg vélræn fægja (CMP): virkar sem stuðningsvettvangur fyrir fægingarpúða, sem veitir samræmda þrýsting og hitadreifingu.
2. Kísilkarbíð keramikrör
- Háhitaofn: Notað við háhita búnað eins og dreifingarofni og oxunarofn til að bera skífur til meðferðar með háum hita.
- CVD/PVD ferli: Sem burðarrör í hvarfhólfinu, ónæmur fyrir háum hitastigi og ætandi lofttegundum.
- Aukahlutir hálfleiðara búnaðar: Fyrir hitaskipti, gasleiðslur o.s.frv. Til að bæta hitastjórnun skilvirkni búnaðar.
XKH býður upp á alhliða sérsniðna þjónustu fyrir sílikon karbíð keramikbakka, sogbollum og kísil karbíð keramikrörum. Hægt er að aðlaga kísil karbíð keramikbakka og sogskálar, XKH er hægt að aðlaga eftir kröfum viðskiptavina í mismunandi stærðum, formum og ójöfnur á yfirborði og styðja sérstaka húðmeðferð, auka slitþol og tæringarþol; Fyrir sílikon karbíð keramikrör getur XKH sérsniðið margs konar innri þvermál, ytri þvermál, lengd og flókna uppbyggingu (svo sem lagaða rör eða porous rör) og veita fægingu, andoxunarhúð og aðra yfirborðsmeðferðarferli. XKH tryggir að viðskiptavinir geti nýtt til fulls af afköstum ávinnings af sílikon karbíð keramikvörum til að uppfylla krefjandi kröfur um hágæða framleiðslusvið eins og hálfleiðara, ljósdíóða og ljósritun.