Kísilkarbíð keramik bakka sogskál Kísilkarbíð keramik rör framboð háhita sintrun sérsniðin vinnsla

Stutt lýsing:

Kísilkarbíð keramikbakkar og kísilkarbíð keramikrör eru ómissandi hágæðaefni í framleiðslu hálfleiðara. Kísilkarbíð keramikbakkar eru aðallega notaðir í vinnslu á föstum og legum skífum til að tryggja stöðugleika í nákvæmum ferlum. Kísilkarbíð keramikrör eru mikið notuð í háhitaofnrör, dreifiofnrör og aðrar aðstæður til að þola öfgafullt umhverfi og viðhalda skilvirkri hitastjórnun. Báðir eru byggðir á kísilkarbíði sem kjarnaefni, sem hefur orðið lykilþáttur í hálfleiðaraiðnaðinum vegna framúrskarandi eðlis- og efnafræðilegra eiginleika.

Senda okkur tölvupóst

Vöruupplýsingar

Vörumerki

Helstu eiginleikar:

1. Bakki úr kísilkarbíði úr keramik
- Mikil hörku og slitþol: Hörkustigið er svipað og demant og þolir vélrænt slit í skífuvinnslu í langan tíma.
- Mikil varmaleiðni og lágur varmaþenslustuðull: hröð varmaleiðsla og víddarstöðugleiki, forðast aflögun af völdum varmaálags.
- Mikil flatnæmi og yfirborðsáferð: Yfirborðsflatnin er allt að míkronstigi, sem tryggir fulla snertingu milli oblátunnar og disksins, sem dregur úr mengun og skemmdum.
Efnafræðilegur stöðugleiki: Sterk tæringarþol, hentugur fyrir blauthreinsun og etsunarferli í framleiðslu hálfleiðara.
2. Kísilkarbíð keramikrör
- Háhitaþol: Það getur virkað í háhitaumhverfi yfir 1600°C í langan tíma, hentugur fyrir háhitaferli hálfleiðara.
Frábær tæringarþol: þolir sýrur, basa og ýmis efnaleysiefni, hentar vel í erfiðar vinnuumhverfi.
- Mikil hörku og slitþol: standast agnaeyðingu og vélrænt slit, lengja líftíma.
- Mikil varmaleiðni og lágur varmaþenslustuðull: hröð varmaleiðni og víddarstöðugleiki, dregur úr aflögun eða sprungum af völdum varmaálags.

Vörubreyta:

Færibreyta fyrir kísilkarbíð keramikbakka:

(Efnislegir eiginleikar)		(Eining)	(ssic)
(SiC innihald)		(Þyngd)%	>99
(Meðalkornastærð)		míkron	4-10
(Þéttleiki)		kg/dm3	>3,14
(Sýnileg gegndræpi)		Vo1%	<0,5
(Vickers hörku)	HV 0,5	GPa	28
() Beygjustyrkur (þrjú stig)	20°C	MPa	450
(Þjöppunarstyrkur)	20°C	MPa	3900
(Teygjanleiki)	20°C	GPa	420
(Brotþol)		MPa/m'%	3,5
(Varmaleiðni)	20°C	W/(m*K)	160
(Viðnám)	20°C	Ohm.cm	106-108
(Varmaþenslustuðull)	a(RT**...80°C)	K-1*10-6	4.3
(Hámarks rekstrarhitastig)		o°C	1700

Kísilkarbíð keramik rör breytu:

Hlutir	Vísitala
α-SIC	99% lágmark
Sýnileg porosity	16% hámark
Þéttleiki magns	2,7 g/cm³ mín.
Beygjustyrkur við háan hita	100 MPa mín.
Varmaþenslustuðull	K-1 4,7x10 -6
Varmaleiðnistuðull (1400ºC)	24 W/mk
Hámarks vinnuhitastig	1650°C

Helstu notkunarsvið:

1. Kísilkarbíð keramikplata
- Skífuskurður og pússun: þjónar sem legupallur til að tryggja mikla nákvæmni og stöðugleika við skurð og pússun.
- Steinritunarferli: Skífan er fest í steinritunarvélinni til að tryggja mikla nákvæmni í staðsetningu við lýsingu.
- Efnafræðileg vélræn pússun (CMP): virkar sem stuðningspallur fyrir pússunarpúða og veitir jafna þrýsting og hitadreifingu.
2. Kísilkarbíð keramikrör
- Háhitaofnrör: Notað fyrir háhitabúnað eins og dreifiofna og oxunarofna til að flytja skífur til háhitaferlismeðhöndlunar.
- CVD/PVD ferli: Sem legurör í hvarfklefanum, þolir háan hita og ætandi lofttegundir.
- Aukahlutir fyrir hálfleiðarabúnað: fyrir varmaskiptara, gasleiðslur o.s.frv., til að bæta skilvirkni varmastjórnunar búnaðar.
XKH býður upp á fjölbreytt úrval sérsniðinna þjónustu fyrir bakka, sogbolla og rör úr kísilkarbíði úr kísilkarbíði. Hægt er að aðlaga bakka og sogbolla úr kísilkarbíði úr XKH eftir kröfum viðskiptavina um mismunandi stærðir, lögun og yfirborðsgrófleika og styðja sérstaka húðunarmeðferð, auka slitþol og tæringarþol. Fyrir rör úr kísilkarbíði getur XKH sérsniðið fjölbreytt innra þvermál, ytra þvermál, lengd og flókna uppbyggingu (eins og lagaða rör eða porous rör) og boðið upp á fægingu, oxunarvörn og aðrar yfirborðsmeðferðaraðferðir. XKH tryggir að viðskiptavinir geti nýtt sér afköst kísilkarbíði úr keramikvörum til að uppfylla kröfur háþróaðra framleiðslugeiranna eins og hálfleiðara, LED-ljósa og sólarorku.