Kísillkarbíð cantilever spaði (SiC cantilever spaði)

Stutt lýsing:

Senda okkur tölvupóst

Eiginleikar

Ítarlegt skýringarmynd

Yfirlit yfir vöru

Kísilkarbíðskelin, sem er framleidd úr hágæða hvarfbundnu kísilkarbíði (RBSiC), er mikilvægur íhlutur sem notaður er í skífuhleðslu- og meðhöndlunarkerfum fyrir hálfleiðara- og sólarorkuforrit.
Í samanburði við hefðbundnar kvars- eða grafítspaðlar bjóða SiC cantilever-spaðlar upp á betri vélrænan styrk, mikla hörku, litla hitauppþenslu og framúrskarandi tæringarþol. Þeir viðhalda framúrskarandi byggingarstöðugleika við hátt hitastig og uppfylla strangar kröfur um stórar skífur, lengri endingartíma og afar litla mengun.

Með sífelldri þróun hálfleiðaraferla í átt að stærri þvermáli skífa, meiri afköstum og hreinna vinnsluumhverfi hafa SiC cantilever spaðar smám saman komið í stað hefðbundinna efna og orðið kjörinn kostur fyrir dreifingarofna, LPCVD og skyldan háhitabúnað.

Vörueiginleikar

Frábær stöðugleiki við háan hita
- Virkar áreiðanlega við 1000–1300 ℃ án aflögunar.
- Hámarks hitastig allt að 1380 ℃.
Mikil burðargeta
- Beygjustyrkur allt að 250–280 MPa, mun hærri en kvarsspaðar.
- Getur meðhöndlað skífur með stórum þvermál (300 mm og stærri).
Lengri endingartími og lítið viðhald
- Lágt varmaþenslustuðull (4,5 × 10⁻⁶ K⁻¹), vel samsvörun við LPCVD húðunarefni.
- Minnkar sprungur og flögnun af völdum streitu og lengir þannig verulega þrif- og viðhaldsferla.
Tæringarþol og hreinleiki
- Frábær viðnám gegn sýrum og basum.
- Þétt örbygging með opnu gegndræpi <0,1%, sem lágmarkar agnamyndun og losun óhreininda.
Sjálfvirkni-samhæfð hönnun
- Stöðug þversniðsrúmfræði með mikilli víddarnákvæmni.
- Samþættist óaðfinnanlega við vélræn hleðslu- og losunarkerfi fyrir skífur, sem gerir framleiðslu kleift að vera fullkomlega sjálfvirk.

Eðlis- og efnafræðilegir eiginleikar

Vara	Eining	Gögn
Hámarks hitastig þjónustu	℃	1380
Þéttleiki	g/cm³	3,04 – 3,08
Opið gegndræpi	%	< 0,1
Beygjustyrkur	MPa	250 (20℃), 280 (1200℃)
Teygjanleikastuðull	GPa	330 (20℃), 300 (1200℃)
Varmaleiðni	W/m·K	45 (1200°C)
Varmaþenslustuðull	K⁻¹×10⁻⁶	4,5
Vickers hörku	HV2	≥ 2100
Sýru-/basaþol	-	Frábært

Staðlaðar lengdir:2378 mm, 2550 mm, 2660 mm
Sérsniðnar stærðir í boði ef óskað er

Umsóknir

Hálfleiðaraiðnaður
- LPCVD (lágþrýstings efnagufuútfelling)
- Dreifingarferli (fosfór, bór o.s.frv.)
- Varmaoxun
Ljósvirkjunariðnaður
- Dreifing og húðun á pólýsílikoni og einkristallaðri skífu
- Háhitaglæðing og óvirkjun
Önnur svið
- Háhita ætandi umhverfi
- Nákvæmar kerfi til meðhöndlunar á skífum sem krefjast langs líftíma og lítillar mengunar

Ávinningur viðskiptavina

Lækkað rekstrarkostnaður– Lengri endingartími samanborið við kvartsspaða, sem lágmarkar niðurtíma og tíðni skipti.
Hærri ávöxtun– Mjög lítil mengun tryggir hreinleika yfirborðs skífunnar og dregur úr gallatíðni.
Framtíðarvænt– Samhæft við stórar skífur og næstu kynslóð hálfleiðaraferla.
Bætt framleiðni– Fullkomlega samhæft við sjálfvirk vélmenni, sem styður framleiðslu í miklu magni.

Algengar spurningar – Kísillkarbíð sveifarspaða

Spurning 1: Hvað er kísillkarbíð cantilever spaði?
A: Þetta er íhlutur fyrir stuðning og meðhöndlun skífa úr hvarfbundnu kísilkarbíði (RBSiC). Hann er mikið notaður í dreifiofnum, LPCVD og öðrum háhita hálfleiðara- og sólarorkuferlum.

Spurning 2: Af hverju að velja SiC frekar en kvarsspaðana?
A: Í samanburði við kvarsspaða bjóða SiC-spaða upp á:

Meiri vélrænn styrkur og burðargeta
Betri hitastöðugleiki við hitastig allt að 1380 ℃
Mun lengri endingartími og styttri viðhaldslotur
Minni agnamyndun og mengunarhætta
Samhæfni við stærri skífustærðir (300 mm og stærri)

Spurning 3: Hvaða stærðir af skífum getur SiC-snúningsásinn stutt?
A: Staðlaðar spaðar eru fáanlegir fyrir ofnakerfi sem eru 2378 mm, 2550 mm og 2660 mm. Sérsniðnar stærðir eru í boði til að styðja við skífur allt að 300 mm og lengra.

Um okkur

XKH sérhæfir sig í hátækniþróun, framleiðslu og sölu á sérstökum ljósleiðaraefnum og nýjum kristalefnum. Vörur okkar þjóna ljósleiðaraiðnaði, neytendarafeindatækni og hernum. Við bjóðum upp á safír-ljósleiðaraíhluti, linsulok fyrir farsíma, keramik, LT, kísilkarbíð SIC, kvars og hálfleiðarakristallskífur. Með hæfni og nýjustu búnaði skarum við fram úr í óstöðluðum vöruvinnslum og stefnum að því að vera leiðandi hátæknifyrirtæki í ljósleiðaraefnum.