SiC keramikbakki fyrir skífuflutninga með háhitaþol
Bakki úr kísilkarbíði og keramik (SiC bakki)
Háþróaður keramikíhlutur byggður á kísilkarbíði (SiC) efni, hannaður fyrir háþróaða iðnaðarnotkun eins og framleiðslu á hálfleiðurum og LED-ljósum. Helstu hlutverk þess eru meðal annars að þjóna sem burðarefni fyrir skífur, etsunarferli eða stuðningur við háhitaferli, og nýtir framúrskarandi varmaleiðni, háhitaþol og efnafræðilegan stöðugleika til að tryggja einsleitni í ferlinu og afköst vörunnar.
Helstu eiginleikar
1. Hitastig
- Mikil varmaleiðni: 140–300 W/m·K, sem er mun betri en hefðbundið grafít (85 W/m·K), sem gerir kleift að dreifa varma hraðar og draga úr hitaálagi.
- Lágur varmaþenslustuðull: 4,0 × 10⁻⁶/℃ (25–1000 ℃), sem samsvarar nákvæmlega kísill (2,6 × 10⁻⁶/℃), sem lágmarkar hættu á varmaaflögun.
2. Vélrænir eiginleikar
- Mikill styrkur: Beygjustyrkur ≥320 MPa (20℃), þolir þjöppun og högg.
- Mikil hörku: Mohs hörka 9,5, næst á eftir demöntum, og býður upp á framúrskarandi slitþol.
3. Efnafræðilegur stöðugleiki
- Tæringarþol: Þolir sterkar sýrur (t.d. HF, H₂SO₄), hentar vel í etsunarumhverfi.
- Ósegulmagnað: Innri segulnæmi <1×10⁻⁶ emu/g, sem kemur í veg fyrir truflanir frá nákvæmnismælitækjum.
4. Mjög mikil umhverfisþol
- Háhitaþol: Langtíma rekstrarhiti allt að 1600–1900 ℃; skammtímaþol allt að 2200 ℃ (súrefnislaust umhverfi).
- Hitaþol: Þolir skyndilegar hitabreytingar (ΔT >1000℃) án þess að springa.
Umsóknir
| Umsóknarsvið | Sérstök atburðarás | Tæknilegt gildi |
| Framleiðsla hálfleiðara | Etsun á skífum (ICP), þunnfilmuútfelling (MOCVD), CMP-slípun | Mikil varmaleiðni tryggir einsleit hitastig; lítil varmaþensla lágmarkar aflögun skífna. |
| LED framleiðsla | Vöxtur í efri hluta líkamans (t.d. GaN), niðurskurður á skífum, pökkun | Dregur úr fjölþættum göllum og eykur ljósnýtni og líftíma LED-ljósa. |
| Ljósvirkjunariðnaður | Sinterunarofnar fyrir kísilþynnur, PECVD búnaðarstuðningar | Þol gegn háum hita og hitaáfalli lengir líftíma búnaðarins. |
| Leysir og ljósfræði | Kæliundirlag fyrir öfluga leysigeisla, stuðningur við ljóskerfi | Mikil varmaleiðni gerir kleift að dreifa varma hratt og stöðuga ljósfræðilega íhluti. |
| Greiningartæki | TGA/DSC sýnishornshaldarar | Lágt varmaget og hröð hitasvörun bæta mælingarnákvæmni. |
Kostir vörunnar
- Alhliða afköst: Varmaleiðni, styrkur og tæringarþol eru mun betri en áloxíð og kísillnítríð keramik og uppfylla miklar kröfur um notkun.
- Létt hönnun: Þéttleiki 3,1–3,2 g/cm³ (40% af stáli), sem dregur úr tregðuálagi og eykur nákvæmni hreyfingar.
- Langlífi og áreiðanleiki: Þjónustutími er yfir 5 ár við 1600℃, sem dregur úr niðurtíma og rekstrarkostnaði um 30%.
- Sérsniðin hönnun: Styður flóknar rúmfræðir (t.d. gegndræpar sogbollar, marglaga bakka) með flatneskjuvillu <15 μm fyrir nákvæmar notkunarmöguleika.
Tæknilegar upplýsingar
| Flokkun breytu | Vísir |
| Eðlisfræðilegir eiginleikar | |
| Þéttleiki | ≥3,10 g/cm³ |
| Sveigjanleiki (20 ℃) | 320–410 MPa |
| Varmaleiðni (20 ℃) | 140–300 W/(m·K) |
| Varmaþenslustuðull (25–1000 ℃) | 4,0 × 10⁻⁶/℃ |
| Efnafræðilegir eiginleikar | |
| Sýruþol (HF/H₂SO₄) | Engin tæring eftir 24 klst. niðurdýfingu |
| Nákvæmni í vinnslu | |
| Flatleiki | ≤15 μm (300 × 300 mm) |
| Yfirborðsgrófleiki (Ra) | ≤0,4 míkrómetrar |
Þjónusta XKH
XKH býður upp á alhliða iðnaðarlausnir sem spanna sérsniðna þróun, nákvæma vinnslu og strangt gæðaeftirlit. Fyrir sérsniðna þróun býður það upp á lausnir fyrir efni með mikilli hreinleika (>99,999%) og gegndræpi (30–50% gegndræpi), ásamt þrívíddarlíkönum og hermun til að hámarka flóknar rúmfræði fyrir notkun eins og hálfleiðara og geimferðaiðnað. Nákvæm vinnsla fylgir straumlínulagaðri aðferð: duftvinnsla → þurrpressun → 2200°C sintrun → CNC/demantsslípun → skoðun, sem tryggir nanómetra-slípun og ±0,01 mm víddarþol. Gæðaeftirlit felur í sér prófanir á öllu ferlinu (XRD samsetning, SEM örbygging, 3-punkta beygja) og tæknilega aðstoð (ferlisbestun, 24/7 ráðgjöf, 248 tíma sýnishornsafhending), sem skilar áreiðanlegum, afkastamiklum íhlutum fyrir háþróaðar iðnaðarþarfir.
Algengar spurningar (FAQ)
1. Sp.: Hvaða atvinnugreinar nota kísilkarbíð keramikbakka?
A: Víða notað í framleiðslu hálfleiðara (meðhöndlun skífa), sólarorku (PECVD-ferli), lækningatækjum (segulómun íhlutum) og geimferðum (hlutir sem þola háan hita) vegna mikillar hitaþols þeirra og efnafræðilegs stöðugleika.
2. Sp.: Hvernig skilar kísillkarbíð betri árangri en kvars-/glerbakkar?
A: Meiri hitaáfallsþol (allt að 1800°C samanborið við 1100°C kvars), engin segultruflanir og lengri líftími (5+ ár samanborið við 6-12 mánuði kvars).
3. Sp.: Þolir kísilkarbíðbakkar súrt umhverfi?
A: Já. Þolir HF, H2SO4 og NaOH með <0,01 mm tæringu/ári, sem gerir þá tilvalda fyrir efnaetsun og hreinsun á skífum.
4. Sp.: Eru bakkar úr kísilkarbíði samhæfðir við sjálfvirkni?
A: Já. Hannað fyrir lofttæmissöfnun og vélræna meðhöndlun, með yfirborðsflatt <0,01 mm til að koma í veg fyrir agnamengun í sjálfvirkum verksmiðjum.
5. Sp.: Hver er kostnaðarsamanburðurinn við hefðbundin efni?
A: Hærri upphafskostnaður (3-5 sinnum kvars) en 30-50% lægri heildareignarkostnaður vegna lengri líftíma, styttri niðurtíma og orkusparnaðar vegna betri varmaleiðni.
