SiC keramik gaffalarmur / endaáhrifari – Háþróuð nákvæmni meðhöndlun fyrir framleiðslu hálfleiðara

Gafflar/endaáhrifafl úr SiC keramik – Háþróuð nákvæmni í meðhöndlun fyrir framleiðslu hálfleiðara. Mynd.

Stutt lýsing:

SiC keramik gaffalarmurinn, oft kallaður keramikendaáhrifari, er afkastamikill nákvæmnismeðhöndlunarhlutur sem er sérstaklega þróaður fyrir flutning, röðun og staðsetningu skífa í hátæknigreinum, sérstaklega í framleiðslu á hálfleiðurum og sólarorku. Þessi íhlutur er smíðaður úr hágæða kísilkarbíðkeramik og sameinar einstakan vélrænan styrk, afar litla hitauppþenslu og yfirburðaþol gegn hitaáfalli og tæringu.

Senda okkur tölvupóst

Eiginleikar

Ítarlegt skýringarmynd

Yfirlit yfir vöru

Ólíkt hefðbundnum endakippum úr áli, ryðfríu stáli eða jafnvel kvarsi, bjóða SiC keramik endakippar upp á óviðjafnanlega frammistöðu í lofttæmisklefum, hreinherbergjum og erfiðu vinnsluumhverfi, sem gerir þá að lykilhluta af næstu kynslóðar vélmennum sem meðhöndla skífur. Með vaxandi eftirspurn eftir mengunarlausri framleiðslu og þrengri vikmörkum í örgjörvaframleiðslu er notkun keramik endakippa ört að verða staðall í greininni.

Framleiðsluregla

SmíðiSiC keramik endaáhrifavaldarfelur í sér röð af nákvæmum og hreinum ferlum sem tryggja bæði afköst og endingu. Tvær meginferlar eru venjulega notaðar:

Viðbragðstengt kísillkarbíð (RB-SiC)

Í þessu ferli er forform úr kísilkarbíðdufti og bindiefni síað inn í bráðið kísill við hátt hitastig (~1500°C), sem hvarfast við leifar af kolefni til að mynda þétt, stíft SiC-Si samsett efni. Þessi aðferð býður upp á framúrskarandi víddarstýringu og er hagkvæm fyrir stórfellda framleiðslu.

Þrýstingslaust sinterað kísillkarbíð (SSiC)

SSiC er framleitt með því að sinta afar fínt, mjög hreint SiC duft við afar hátt hitastig (>2000°C) án þess að nota aukefni eða bindiefnisfasa. Þetta leiðir til vöru með næstum 100% eðlisþyngd og hæstu vélrænu og varmafræðilegu eiginleika sem völ er á meðal SiC efna. Það er tilvalið fyrir afar mikilvægar skífuvinnsluforrit.

Eftirvinnsla

Nákvæm CNC vinnslaNær mikilli flatneskju og samsíða línum.
YfirborðsfrágangurDemantslípun minnkar yfirborðsgrófleika niður í <0,02 µm.
SkoðunSjónræn truflunarmæling, CMM og eyðileggjandi prófanir eru notaðar til að staðfesta hvert stykki.

Þessi skref tryggja aðSiC endaáhrifariskilar stöðugri nákvæmni í staðsetningu skífa, framúrskarandi planleika og lágmarks agnamyndun.

Helstu eiginleikar og ávinningur

Eiginleiki	Lýsing
Mjög mikil hörku	Vickers hörku > 2500 HV, þolir slit og flísun.
Lítil hitauppþensla	CTE ~4,5×10⁻⁶/K, sem gerir kleift að ná víddarstöðugleika í varmahringrás.
Efnafræðileg óvirkni	Þolir HF, HCl, plasmagas og önnur ætandi efni.
Frábær hitauppstreymisþol	Hentar til hraðrar upphitunar/kælingar í lofttæmis- og ofnakerfum.
Mikil stífni og styrkur	Styður langa, sjálfstætt festa gaffla án þess að beygja sig.
Lítil útblástur	Tilvalið fyrir umhverfi með mjög háu lofttæmi (UHV).
Tilbúið fyrir hreinrými í ISO flokki 1	Agnalaus aðgerð tryggir heilleika skífunnar.

Umsóknir

SiC keramik gaffalarmurinn / endaáhrifarinn er mikið notaður í iðnaði sem krefst mikillar nákvæmni, hreinlætis og efnaþols. Helstu notkunarsvið eru meðal annars:

Framleiðsla hálfleiðara

Hleðsla/losun skífa í útfellingarkerfum (CVD, PVD), etsunarkerfum (RIE, DRIE) og hreinsunarkerfum.
Vélrænn flutningur á skífum milli FOUP-eininga, kassetta og vinnslutækja.
Meðhöndlun við háan hita við hitavinnslu eða glæðingu.

Framleiðsla ljósrafmagnsfrumna

Viðkvæmur flutningur á brothættum kísilskífum eða sólarundirlögum í sjálfvirkum línum.

Flatskjár (FPD) iðnaður

Að færa stórar glerplötur eða undirlag í OLED/LCD framleiðsluumhverfi.

Samsettir hálfleiðarar / MEMS

Notað í GaN, SiC og MEMS framleiðslulínum þar sem mengunarstjórnun og nákvæmni staðsetningar eru mikilvæg.

Hlutverk þess sem endaáhrifavaldur er sérstaklega mikilvægt til að tryggja gallalausa og stöðuga meðhöndlun við viðkvæmar aðgerðir.

Sérstillingarmöguleikar

Við bjóðum upp á víðtæka sérstillingu til að mæta mismunandi kröfum um búnað og ferla:

GaffalhönnunTvíþætta, fjölfingra eða split-level útlit.
Samrýmanleiki við stærð skífuFrá 2” til 12” oblátum.
FestingarviðmótSamhæft við OEM vélmennaörma.
Þykkt og yfirborðsþolMíkrón-stigs flatnæmi og brúnafrámun í boði.
Aðgerðir gegn hálkuValfrjáls yfirborðsáferð eða húðun fyrir öruggt grip á skífum.

Hverkeramik endaáhrifarier hannað í samvinnu við viðskiptavini til að tryggja nákvæma passa með lágmarks breytingum á verkfærum.

Algengar spurningar (FAQ)

Spurning 1: Hvernig er SiC betra en kvars fyrir notkun í endaáhrifavöldum?
A1:Þótt kvars sé almennt notað vegna hreinleika síns, þá skortir það vélræna seiglu og er viðkvæmt fyrir broti við álag eða hitastigsbreytingar. SiC býður upp á yfirburða styrk, slitþol og hitastöðugleika, sem dregur verulega úr hættu á niðurtíma og skemmdum á skífum.

Spurning 2: Er þessi keramikgaffalarmur samhæfur öllum vélknúnum skífumeðhöndlunarvélum?
A2:Já, keramik-endaáhrifaflsbúnaðurinn okkar er samhæfur flestum helstu kerfum fyrir meðhöndlun skífa og hægt er að aðlaga þá að þínum sérstökum vélmennalíkönum með nákvæmum verkfræðiteikningum.

Spurning 3: Getur það höndlað 300 mm skífur án þess að afmyndast?
A3:Algjörlega. Mikil stífleiki SiC gerir það að verkum að jafnvel þunnum, löngum gaffalörmum geta haldið 300 mm skífum örugglega án þess að síga eða beygja sig við hreyfingu.

Spurning 4: Hver er dæmigerður endingartími SiC keramik endaáhrifa?
A4:Með réttri notkun getur SiC endaáhrifafl enst 5 til 10 sinnum lengur en hefðbundnar kvars- eða álgerðir, þökk sé framúrskarandi viðnámi gegn hitauppstreymi og vélrænu álagi.

Q5: Bjóðið þið upp á skipti eða hraðvirka frumgerðarþjónustu?
A5:Já, við styðjum hraða sýnishornsframleiðslu og bjóðum upp á skiptiþjónustu byggða á CAD teikningum eða öfugsniðnum hlutum úr núverandi búnaði.

Um okkur

XKH sérhæfir sig í hátækniþróun, framleiðslu og sölu á sérstökum ljósleiðaraefnum og nýjum kristalefnum. Vörur okkar þjóna ljósleiðaraiðnaði, neytendarafeindatækni og hernum. Við bjóðum upp á safír-ljósleiðaraíhluti, linsulok fyrir farsíma, keramik, LT, kísilkarbíð SIC, kvars og hálfleiðarakristallskífur. Með hæfni og nýjustu búnaði skarum við fram úr í óstöðluðum vöruvinnslum og stefnum að því að vera leiðandi hátæknifyrirtæki í ljósleiðaraefnum.