LT litíumtantalat (LiTaO3) kristall 2 tommur/3 tommur/4 tommur/6 tommur stefnumörkun Y-42°/36°/108° þykkt 250-500µm
Tæknilegar breytur
Nafn | LiTaO3 í ljósfræðilegum gæðaflokki | Hljóðborðsstyrkur LiTaO3 |
Áslæg | Z-skurður + / - 0,2° | 36° Y-skurður / 42° Y-skurður / X-skurður(+ / - 0,2°) |
Þvermál | 76,2 mm + / - 0,3 mm/100 ± 0,2 mm | 76,2 mm + /- 0,3 mm100 mm + /-0,3 mm 0r 150 ± 0,5 mm |
Viðmiðunarplan | 22mm + / - 2mm | 22mm + /-2mm32mm + /-2mm |
Þykkt | 500µm +/-5mm1000µm +/-5mm | 500µm +/-20mm350µm +/-20mm |
TTV | ≤ 10µm | ≤ 10µm |
Curie hitastig | 605 °C + / - 0,7 °C (DTA-aðferð) | 605 °C + / -3 °C (DTA-aðferð) |
Yfirborðsgæði | Tvíhliða fæging | Tvíhliða fæging |
Skásettar brúnir | brúnun | brúnun |
Lykilatriði
1. Kristalbygging og rafmagnsafköst
· Kristallafræðilegur stöðugleiki: 100% 4H-SiC fjölgerðayfirráð, engar fjölkristallaðar innilokanir (t.d. 6H/15R), með XRD-veltingarkúrfu í fullri breidd við hálft hámark (FWHM) ≤32,7 bogasekúndur.
· Mikil hreyfanleiki burðarefna: Rafeindahreyfanleiki upp á 5.400 cm²/V·s (4H-SiC) og holuhreyfanleiki upp á 380 cm²/V·s, sem gerir kleift að hanna hátíðnitæki.
· Geislunarhörku: Þolir 1 MeV nifteindageislun með tilfærsluskaðaþröskuldi upp á 1×10¹⁵ n/cm², tilvalið fyrir flug- og kjarnorkuiðnað.
2. Varma- og vélrænir eiginleikar
· Framúrskarandi varmaleiðni: 4,9 W/cm·K (4H-SiC), þrefalt meira en kísill, styður notkun yfir 200°C.
· Lágur varmaþenslustuðull: CTE upp á 4,0 × 10⁻⁶/K (25–1000°C), sem tryggir eindrægni við kísilbundin umbúðir og lágmarkar varmaálag.
3. Gallaeftirlit og nákvæmni vinnslu
· Þéttleiki örpípa: <0,3 cm⁻² (8 tommu skífur), tilfærsluþéttleiki <1.000 cm⁻² (staðfest með KOH-etsun).
· Yfirborðsgæði: CMP-pússað í Ra <0,2 nm, uppfyllir kröfur um flatnæmi fyrir EUV litgrafíu.
Lykilforrit
Lén | Umsóknarsviðsmyndir | Tæknilegir kostir |
Ljósleiðbeiningar | 100G/400G leysir, sílikon ljósfræði blendingaeiningar | InP fræhvarfefni gera kleift að mynda beint bandgap (1,34 eV) og Si-byggða heterópitaxi, sem dregur úr tapi á ljósleiðaratengingu. |
Nýjar orkugjafar | 800V háspennubreytir, innbyggðir hleðslutæki (OBC) | 4H-SiC undirlag þola >1.200 V, sem dregur úr leiðni tapi um 50% og kerfisrúmmáli um 40%. |
5G fjarskipti | Millimetrabylgju RF tæki (PA/LNA), aflmagnarar grunnstöðva | Hálf-einangrandi SiC undirlag (viðnám >10⁵ Ω·cm) gerir kleift að samþætta hátíðni (60 GHz+) með óvirkri tengingu. |
Iðnaðarbúnaður | Háhitaskynjarar, straumspennar, kjarnakljúfaeftirlitskerfi | InSb fræundirlag (0,17 eV bandgap) skila segulnæmi allt að 300% við 10 T. |
LiTaO₃ skífur - Helstu eiginleikar
1. Yfirburða piezoelectric afköst
Háir piezoelectric stuðlar (d₃₃~8-10 pC/N, K²~0,5%) gera kleift að nota hátíðni SAW/BAW tæki með innsetningartap <1,5dB fyrir 5G RF síur
· Framúrskarandi rafsegultenging styður breiðbandssíuhönnun (≥5%) fyrir notkun undir 6 GHz og mmbylgju
2. Sjónrænir eiginleikar
· Gagnsæi breiðbands (>70% sending frá 400-5000nm) fyrir raf-ljósleiðara sem ná >40GHz bandbreidd
Sterk ólínuleg ljósnæmni (χ⁽²⁾~30pm/V) auðveldar skilvirka myndun annarrar harmonískrar hreyfifræði (SHG) í leysikerfum
3. Umhverfisstöðugleiki
Hátt Curie hitastig (600°C) viðheldur piezoelectric svörun í bílaumhverfi (-40°C til 150°C)
· Efnafræðileg óvirkni gegn sýrum/basa (pH 1-13) tryggir áreiðanleika í iðnaðarskynjaraforritum
4. Sérstillingarmöguleikar
· Stefnumörkun: X-skurður (51°), Y-skurður (0°), Z-skurður (36°) fyrir sérsniðnar piezoelectric svörun
· Efnablöndunarmöguleikar: Mg-efnisbundið (viðnám gegn ljósskemmdum), Zn-efnisbundið (aukið d₃₃)
· Yfirborðsáferð: Epitaxial-tilbúin fæging (Ra <0,5 nm), ITO/Au málmhúðun
LiTaO₃ skífur - Helstu notkunarsvið
1. RF framhliðareiningar
· 5G NR SAW síur (band n77/n79) með hitastigsstuðli (TCF) <|-15ppm/°C|
· Ofurbreiðbands BAW-ómarar fyrir WiFi 6E/7 (5,925-7,125 GHz)
2. Samþætt ljósfræði
· Hraðvirkir Mach-Zehnder mótunarbúnaður (>100 Gbps) fyrir samhæfða ljósleiðarasamskipti
· QWIP innrauðir skynjarar með stillanlegum bylgjulengdum frá 3-14μm
3. Rafmagnstæki fyrir bifreiðar
· Ómskoðunarskynjarar fyrir bílastæðaskynjara með rekstrartíðni >200kHz
· TPMS piezoelectric nemar sem þola -40°C til 125°C hitahringrás
4. Varnarkerfi
· EW móttakarasíur með >60dB höfnun utan bands
· Innrauð gluggar fyrir eldflaugaleit senda frá sér 3-5μm MWIR geislun
5. Nýjar tæknilausnir
· Ljósfræðilegir skammtafræðilegir nemar fyrir umbreytingu úr örbylgju- í ljósfræðilega geislun
· PMUT fylki fyrir læknisfræðilega ómskoðun (>20MHz upplausn)
LiTaO₃ vöfflur - XKH þjónusta
1. Stjórnun framboðskeðjunnar
· Boule-í-vafer vinnsla með 4 vikna afhendingartíma fyrir staðlaðar forskriftir
· Hagkvæm framleiðsla sem skilar 10-15% verðforskoti miðað við samkeppnisaðila
2. Sérsniðnar lausnir
· Sérstök stefnumörkun á skífum: 36°±0,5° Y-skurður fyrir bestu mögulegu SAW-afköst
· Efnablöndur: MgO (5 mól%) efnun fyrir ljósfræðilega notkun
Málmunarþjónusta: Cr/Au (100/1000Å) rafskautsmynstur
3. Tæknileg aðstoð
· Efnisgreining: XRD-hreyfiferlar (FWHM <0,01°), AFM yfirborðsgreining
· Tækjalíkan: FEM líkanagerð fyrir bestun SAW síuhönnunar
Niðurstaða
LiTaO₃-skífur halda áfram að gera tækniframfarir mögulegar í RF-samskiptum, samþættri ljósfræði og skynjurum sem henta fyrir erfiðar aðstæður. Efnisþekking XKH, nákvæmni í framleiðslu og verkfræðiaðstoð hjálpar viðskiptavinum að sigrast á hönnunaráskorunum í næstu kynslóð rafeindakerfa.


