LiTaO3 skífa 2 tommur-8 tommur 10x10x0,5 mm 1 sp 2 sp fyrir 5G/6G samskipti
Tæknilegar breytur
| Nafn | LiTaO3 í ljósfræðilegum gæðaflokki | Hljóðborðsstyrkur LiTaO3 |
| Áslæg | Z-skurður + / - 0,2° | 36° Y-skurður / 42° Y-skurður / X-skurður (+ / - 0,2°) |
| Þvermál | 76,2 mm + / - 0,3 mm/ 100 ± 0,2 mm | 76,2 mm + /- 0,3 mm 100 mm + /-0,3 mm 0r 150 ± 0,5 mm |
| Viðmiðunarplan | 22mm + / - 2mm | 22mm + /-2mm 32mm + /-2mm |
| Þykkt | 500µm +/-5mm 1000µm +/-5mm | 500µm +/-20mm 350µm +/-20mm |
| TTV | ≤ 10µm | ≤ 10µm |
| Curie hitastig | 605 °C + / - 0,7 °C (DTA-aðferð) | 605 °C + / -3 °C (DTA-aðferð) |
| Yfirborðsgæði | Tvíhliða fæging | Tvíhliða fæging |
| Skásettar brúnir | brúnun | brúnun |
Lykilatriði
1. Rafmagns- og ljósfræðileg afköst
· Raf-ljósleiðarastuðull: r33 nær 30 pm/V (X-cut), 1,5x hærra en LiNbO3, sem gerir kleift að móta raf-ljósleiðara á mjög breiðbandi (>40 GHz bandvídd).
· Breitt litrófssvar: Sendingarsvið 0,4–5,0 μm (8 mm þykkt), með útfjólubláum frásogsbrún allt niður í 280 nm, tilvalið fyrir útfjólubláa leysi og skammtapunktatæki.
· Lágur hitarafstuðull: dP/dT = 3,5×10⁻⁴ C/(m²·K), sem tryggir stöðugleika í innrauðum skynjurum sem virka við háan hita.
2. Varma- og vélrænir eiginleikar
· Mikil varmaleiðni: 4,6 W/m·K (X-skorið), fjórföld miðað við kvars, þolir -200–500°C varmaleiðni.
· Lágur varmaþenslustuðull: CTE = 4,1×10⁻⁶/K (25–1000°C), samhæft við kísilumbúðir til að lágmarka varmaálag.
3. Gallaeftirlit og nákvæmni vinnslu
· Þéttleiki örpípa: <0,1 cm⁻² (8 tommu skífur), tilfærsluþéttleiki <500 cm⁻² (staðfest með KOH-etsun).
· Yfirborðsgæði: CMP-pússað í Ra <0,5 nm, uppfyllir kröfur um flatnæmi fyrir EUV litgrafíu.
Lykilforrit
| Lén | Umsóknarsviðsmyndir | Tæknilegir kostir |
| Ljósleiðbeiningar | 100G/400G DWDM leysir, sílikon ljósfræði blendingaeiningar | Breið litrófsgeislun LiTaO3 skífu og lágt bylgjuleiðartap (α <0,1 dB/cm) gerir kleift að víkka C-bandið. |
| 5G/6G fjarskipti | SAW síur (1,8–3,5 GHz), BAW-SMR síur | 42°Y-skornar skífur ná Kt² >15%, sem skilar lágu innsetningartapi (<1,5 dB) og mikilli roll-off (>30 dB). |
| Kvanttækni | Einfótóna skynjarar, parametrískar niðurbreytingargjafar | Hár ólínulegur stuðull (χ(2)=40 pm/V) og lágur myrkurtalningarhraði (<100 talningar/s) auka skammtafræðilega nákvæmni. |
| Iðnaðarskynjun | Háhitaþrýstingsskynjarar, straumspennar | Piezoelectric svörun LiTaO3 skífu (g33 >20 mV/m) og þol gegn háum hita (>400°C) henta fyrir öfgafullt umhverfi. |
XKH þjónusta
1. Sérsniðin skífuframleiðsla
· Stærð og skurður: 2–8 tommu skífur með X/Y/Z-skurði, 42°Y-skurði og sérsniðnum hornskurðum (±0,01° vikmörk).
· Lyfjaeftirlit: Lyfjagjöf með Fe og Mg með Czochralski-aðferðinni (styrkleikabil 10¹⁶–10¹⁹ cm⁻³) til að hámarka rafsegulstuðla og hitastöðugleika.
2. Ítarleg ferlistækni
· Reglubundin pólun (PPLT): Smart-Cut tækni fyrir LTOI-skífur, sem nær ±10 nm nákvæmni í léni og hálffasa-samsvörun (QPM) tíðnibreytingu.
· Ósamræmi í samþættingu: Si-byggðar LiTaO3 samsettar skífur (POI) með þykktarstýringu (300–600 nm) og varmaleiðni allt að 8,78 W/m·K fyrir hátíðni SAW síur.
3. Gæðastjórnunarkerfi
· Prófanir frá upphafi til enda: Raman litrófsgreining (fjölgerðastaðfesting), XRD (kristöllun), AFM (yfirborðsformgerð) og prófanir á ljósfræðilegri einsleitni (Δn <5×10⁻⁵).
4. Stuðningur við alþjóðlega framboðskeðju
· Framleiðslugeta: Mánaðarleg framleiðsla >5.000 skífur (8 tommur: 70%), með neyðarafhendingu innan 48 klukkustunda.
· Flutninganet: Þjónusta í Evrópu, Norður-Ameríku og Asíu-Kyrrahafssvæðinu með flugi/sjóflutningum með hitastýrðum umbúðum.
