Háhreinar sambræddar kvarsskífur fyrir hálfleiðara, ljósfræðilegar og ljósfræðilegar notkunarmöguleika 2″4″6″8″12″
Ítarlegt skýringarmynd
Yfirlit yfir kvarsgler
Kvarsþynnur mynda burðarás ótal nútíma tækja sem knýja stafrænan heim nútímans áfram. Frá leiðsögn snjallsímans til burðarásar 5G stöðva, veitir kvars hljóðlega stöðugleika, hreinleika og nákvæmni sem krafist er í afkastamiklum rafeindabúnaði og ljósfræði. Hvort sem það styður sveigjanlega rafrásir, gerir MEMS skynjara kleift eða myndar grunn fyrir skammtafræði, þá gera einstakir eiginleikar kvars það ómissandi í öllum atvinnugreinum.
„Brunnið kísil“ eða „brunnið kvars“ er ókristallað efni úr kvarsi (SiO2). Ólíkt bórsílíkatgleri inniheldur brunnið kísil engin aukefni; þess vegna er það til í hreinu formi, SiO2. Brunnið kísil hefur meiri gegndræpi í innrauða og útfjólubláa litrófinu samanborið við venjulegt gler. Brunnið kísil er framleitt með því að bræða og storkna aftur úr hreinu SiO2. Tilbúið brunnið kísil er hins vegar búið til úr kísilríkum efnaforverum eins og SiCl4 sem eru gaskennd og síðan oxuð í H2 + O2 andrúmslofti. SiO2 rykið sem myndast í þessu tilfelli er brætt við kísil á undirlagi. Brunnnu kísilblokkirnar eru skornar í skífur og síðan eru skífurnar að lokum pússaðar.
Helstu eiginleikar og kostir kvarsglerskífu
-
Mjög mikil hreinleiki (≥99,99% SiO2)
Tilvalið fyrir afar hreina hálfleiðara- og ljósfræðilega ferli þar sem lágmarka þarf mengun efnis. -
Breitt hitauppstreymissvið
Viðheldur byggingarheilleika frá lághita allt að yfir 1100°C án þess að afmyndast eða skemmast. -
Framúrskarandi UV og IR sending
Skilar framúrskarandi sjónrænum skýrleika frá djúpu útfjólubláu geislun (DUV) til nær-innrauða geislunar (NIR), sem styður nákvæmar sjónrænar notkunarmöguleika. -
Lágur hitauppstreymisstuðull
Eykur víddarstöðugleika við hitastigssveiflur, dregur úr álagi og bætir áreiðanleika ferlisins. -
Yfirburða efnaþol
Óvirkt gagnvart flestum sýrum, basum og leysum — sem gerir það vel til þess fallið að vera notað í efnafræðilega árásargjarnum umhverfi. -
Sveigjanleiki yfirborðsáferðar
Fáanlegt með afar sléttri, einhliða eða tvíhliða fægðri áferð, samhæft við kröfur um ljósfræði og MEMS.
Framleiðsluferli kvarsglerskífu
Samræddar kvarsplötur eru framleiddar með röð stýrðra og nákvæmra skrefa:
-
Val á hráefni
Val á hágæða náttúrulegum kvars eða tilbúnum SiO₂ uppsprettum. -
Bræðsla og samruni
Kvars er brætt við ~2000°C í rafmagnsofnum undir stýrðu andrúmslofti til að útrýma innifalnum og loftbólum. -
Blokkmyndun
Brædda kísilið er kælt í fastar blokkir eða stálstöngla. -
Skerjun á vöfflu
Nákvæmar demants- eða vírsagir eru notaðar til að skera stálstöngina í skífueyður. -
Lapping og pússun
Báðar yfirborðin eru flatt og pússuð til að uppfylla nákvæmar forskriftir um sjónræna eiginleika, þykkt og grófleika. -
Þrif og skoðun
Vöfflur eru hreinsaðar í hreinherbergjum sem uppfylla ISO-flokk 100/1000 og gangast undir strangt eftirlit með galla og samræmi í víddum.
Eiginleikar kvarsglerplötu
| forskrift | eining | 4" | 6" | 8" | 10" | 12" |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Þvermál / stærð (eða ferningur) | mm | 100 | 150 | 200 | 250 | 300 |
| Þol (±) | mm | 0,2 | 0,2 | 0,2 | 0,2 | 0,2 |
| Þykkt | mm | 0,10 eða meira | 0,30 eða meira | 0,40 eða meira | 0,50 eða meira | 0,50 eða meira |
| Aðalviðmiðunarflat | mm | 32,5 | 57,5 | Hálf-hak | Hálf-hak | Hálf-hak |
| LTV (5mm × 5mm) | míkrómetrar | < 0,5 | < 0,5 | < 0,5 | < 0,5 | < 0,5 |
| TTV | míkrómetrar | < 2 | < 3 | < 3 | < 5 | < 5 |
| Bogi | míkrómetrar | ±20 | ±30 | ±40 | ±40 | ±40 |
| Undirvinda | míkrómetrar | ≤ 30 | ≤ 40 | ≤ 50 | ≤ 50 | ≤ 50 |
| PLTV (5mm × 5mm) < 0,4μm | % | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% |
| Kantnálun | mm | Samræmist SEMI M1.2 staðlinum / vísað er til IEC62276 | ||||
| Yfirborðsgerð | Einhliða slípuð / Tvöföld hlið slípuð | |||||
| Slípuð hlið Ra | nm | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
| Viðmiðanir á bakhliðinni | míkrómetrar | almennt 0,2-0,7 eða sérsniðið | ||||
Kvars vs. önnur gegnsæ efni
| Eign | Kvarsgler | Borósílíkatgler | Safír | Staðlað gler |
|---|---|---|---|---|
| Hámarks rekstrarhiti | ~1100°C | ~500°C | ~2000°C | ~200°C |
| UV-geislun | Frábært (JGS1) | Fátækur | Gott | Mjög lélegt |
| Efnaþol | Frábært | Miðlungs | Frábært | Fátækur |
| Hreinleiki | Mjög hátt | Lítið til miðlungs | Hátt | Lágt |
| Varmaþensla | Mjög lágt | Miðlungs | Lágt | Hátt |
| Kostnaður | Miðlungs til hátt | Lágt | Hátt | Mjög lágt |
Algengar spurningar um kvarsglerplötu
Q1: Hver er munurinn á bræddu kvarsi og bræddu kísil?
Þó að bæði séu ókristallaðar gerðir af SiO₂, þá kemur brætt kvars yfirleitt úr náttúrulegum kvarsuppsprettum, en brætt kísil er framleitt tilbúið. Virkni þeirra er svipuð, en brætt kísil getur haft aðeins meiri hreinleika og einsleitni.
Spurning 2: Er hægt að nota sambræddar kvarsplötur í umhverfi með miklu lofttæmi?
Já. Vegna lágra útgaseiginleika og mikillar hitaþols eru sambræddar kvarsplötur frábærar fyrir lofttæmiskerfi og notkun í geimferðum.
Spurning 3: Henta þessar skífur fyrir djúp-útfjólubláa leysigeisla?
Algjörlega. Bræddur kvars hefur mikla gegndræpi allt niður í ~185 nm, sem gerir hann tilvalinn fyrir DUV ljósfræði, litografíugrímur og excimer leysigeislakerfi.
Q4: Styður þú sérsniðna skífuframleiðslu?
Já. Við bjóðum upp á fulla sérsniðningu, þar á meðal þvermál, þykkt, yfirborðsgæði, flatar/skár og leysimynstur, byggt á þínum sérstöku notkunarkröfum.
Um okkur
XKH sérhæfir sig í hátækniþróun, framleiðslu og sölu á sérstökum ljósleiðaraefnum og nýjum kristalefnum. Vörur okkar þjóna ljósleiðaraiðnaði, neytendarafeindatækni og hernum. Við bjóðum upp á safír-ljósleiðaraíhluti, linsulok fyrir farsíma, keramik, LT, kísilkarbíð SIC, kvars og hálfleiðarakristallskífur. Með hæfni og nýjustu búnaði skarum við fram úr í óstöðluðum vöruvinnslum og stefnum að því að vera leiðandi hátæknifyrirtæki í ljósleiðaraefnum.
