Háþróaður áloxíð keramik endaáhrifari (gafflarmi) fyrir sjálfvirkni hálfleiðara og hreinrýma

Afkastamikill gaffallarmur úr álumíni og keramik fyrir sjálfvirkni í hálfleiðurum og hreinrýmum. Mynd.

Stutt lýsing:

Álframleiðandinn úr keramik, einnig kallaður gaffallarmur úr keramik eða vélrænn keramikhönd, er nákvæmur meðhöndlunarbúnaður hannaður fyrir sjálfvirk kerfi í hálfleiðurum, sólarorkuverum, skjám og rannsóknarstofum með mikla hreinleika. Hann er hannaður til að veita framúrskarandi hitastöðugleika, vélrænan stífleika og efnaþol, og býður upp á hreinan, áreiðanlegan og öruggan flutning á viðkvæmum efnum eins og kísilplötum, glerundirlögum og rafrænum örhlutum.

Senda okkur tölvupóst

Eiginleikar

Ítarlegt skýringarmynd

Kynning á vöru

Sem tegund af vélrænum endaáhrifara er þessi keramikíhlutur lokaviðmótið milli sjálfvirknikerfisins og vinnustykkisins. Hann gegnir mikilvægu hlutverki í nákvæmum flutningi, röðun, hleðslu/affermingu og staðsetningarverkefnum í hreinum herbergjum og lofttæmisumhverfi.

Keramikarmur fyrir drif á hálfleiðurum með skífum G13

Keramikarmur fyrir drif á hálfleiðurum úr skífum G10

Keramikarmur fyrir drif á hálfleiðurum með skífum G07

Yfirlit yfir efni – Áloxíðkeramik (Al₂O₃)

Áloxíðkeramik er mjög stöðugt og efnafræðilega óvirkt tæknilegt keramikefni sem er þekkt fyrir framúrskarandi vélræna og rafmagns eiginleika. Háhreinleiki (≥ 99,5%) áloxíðsins sem notað er í þessa endaáhrifara tryggir:

Mikil hörku (Mohs 9)Áloxíð er næststærsta efni á eftir demanti og býður upp á mikla slitþol.
HáhitastigViðheldur burðarþoli yfir 1600°C.
Efnafræðileg óvirkniÞolir sýrur, basa, leysiefni og plasmaetsunarumhverfi.
RafmagnseinangrunMeð miklum rafsvörunarstyrk og lágu rafsvörunartapi.
Lítil hitauppþenslaTryggir víddarstöðugleika í umhverfi með hitabreytingum.
Lítil agnamyndunNauðsynlegt fyrir samhæfni við hreinrými (flokkur 10 til flokkur 1000).

Þessir eiginleikar gera áloxíðkeramik tilvalið fyrir mikilvægar aðgerðir í mengunarviðkvæmum iðnaði.

Hagnýt forrit

Ál- og keramik-endaáhrif eru mikið notuð í hátæknilegum iðnaðarferlum, sérstaklega þar sem hefðbundin málm- eða plastefni standast ekki þarfir sínar vegna varmaþenslu, mengunar eða tæringar. Helstu notkunarsvið eru meðal annars:

Flutningur á hálfleiðaraskífum
Kerfi fyrir hleðslu og losun ljósritunar
Meðhöndlun glerundirlags í OLED og LCD línum
Flutningur á kristallaðri kísilþynnu í framleiðslu sólarsellu
Sjálfvirk sjón- eða örrafeindaskoðun
Flutningur sýna í greiningar- eða lífeðlisfræðilegum rannsóknarstofum
Sjálfvirknikerfi fyrir tómarúmsumhverfi

Hæfni þess til að starfa án þess að koma með agnir eða stöðurafmagn gerir það ómissandi fyrir nákvæmar vélmennaaðgerðir í sjálfvirkni hreinrýma.

Hönnunareiginleikar og sérstillingar

Hver keramik end effector er hannaður til að passa við ákveðinn vélmennaarm eða skífumeðhöndlunarkerfi. Við styðjum fulla sérsniðningu byggða á:

Samhæfni við stærð skífu: 2", 4", 6", 8", 12" og meira
Raufarform og bilHentar fyrir brúngrip, stuðning að aftan eða skífuhönnun með hakum
SogopInnbyggðar lofttæmisgöt eða rásir fyrir snertilausa meðhöndlun
UppsetningarstillingarGöt, þræðir, raufar sniðnar að flans enda verkfæris vélmennisins
YfirborðsmeðferðPússað, slípað eða fínslípað áferð (Ra < 0,2 µm í boði)
BrúnarvörnÁvöl horn eða afsniðin til að koma í veg fyrir skemmdir á skífum

Með því að nota CAD teikningar eða þrívíddarlíkön frá viðskiptavinum geta verkfræðingar okkar fínstillt hvern gaffal með tilliti til þyngdar, styrks og hreinleika.

en_177_d780dae2bf2639e7dd5142ca3d29c41d_image

Kostir keramikendaáhrifa

Eiginleiki	Ávinningur
Mikil vélræn stífni	Viðheldur nákvæmni í víddum undir vélrænum álagskrafti
Frábær hitauppstreymi	Virkar áreiðanlega í háhita- eða plasmaumhverfi
Núll málmmengun	Engin hætta á jónmengun í mikilvægri hálfleiðaravinnslu
Lágt núningsyfirborð	Minnkar rispuhættu á undirlagi úr skífum eða gleri
Andstæðingur-stöðurafmagns og ekki segulmagnaðir	Dregur ekki að sér ryk né hefur áhrif á segulmögnunarnæma íhluti
Langur endingartími	Yfirburða slitþol í endurteknum sjálfvirkum háhraðaferlum
Mjög hreint eindrægni	Hentar fyrir hreinrými samkvæmt ISO 14644 (flokkur 100 og lægri)

Í samanburði við plast- eða álarmana býður áloxíðkeramik upp á verulega bættan efna- og eðlisfræðilegan stöðugleika með lágmarks viðhaldsþörf.

Eign	Málmarmur	Plastarmur	Armur úr áli úr keramik
Hörku	Miðlungs	Lágt	Mjög hátt (Mohs 9)
Hitastöðugleiki	≤ 500°C	≤ 150°C	≥ 1600°C
Efnaþol	Miðlungs	Fátækur	Frábært
Hentar í hreinlætisrými	Miðlungs	Lágt	Mjög hátt
Slitþol	Miðlungs	Lágt	Framúrskarandi
Rafmagnsstyrkur	Lágt	Miðlungs	Hátt
Sérsniðin vinnslunákvæmni	Takmarkað	Miðlungs	Hátt (±0,01 mm mögulegt)

Tæknilegar upplýsingar

Færibreyta	Gildi
Efni	Háhreint áloxíð (≥ 99,5%)
Vinnuhitastig	Allt að 1600°C
Yfirborðsgrófleiki	Ra ≤ 0,2 µm (valfrjálst)
Samhæfðar stærðir af skífum	2" til 12" eða sérsniðin
Þol á flatneskju	±0,01 mm (háð notkun)
Stuðningur við lofttæmissog	Valfrjálsar, sérsniðnar rásir
Festingarvalkostir	Boltað í gegn, flans, rifaðar holur

Algengar spurningar (FAQ)

Spurning 1: Er hægt að samþætta endaáhrifavaldinn í núverandi vélmennakerfi?
A1:Já. Við styðjum sérstillingar byggðar á vélrænum viðmóti þínu. Þú getur sent okkur CAD teikningu eða flansmál til að fá nákvæma aðlögun.

Spurning 2: Munu keramikarmar brotna auðveldlega við notkun?
A2:Þótt keramik sé brothætt að eðlisfari, þá nota hönnun okkar bestu mögulegu rúmfræði til að lágmarka álagsþéttni. Við réttar notkunarskilyrði veita þau mun lengri endingartíma en málmur eða plast.

Spurning 3: Er hægt að nota þetta í ultra-háu lofttæmis- eða plasmaetsklefum?
A3:Já. Áloxíðkeramik gefur ekki frá sér lofttegundir, er hitastöðugt og tæringarþolið — hentar fullkomlega fyrir umhverfi með miklu lofttæmi, hvarfgjörnum gasi eða plasma.

Spurning 4: Hvernig eru þessir íhlutir hreinsaðir eða viðhaldið?
A4:Hægt er að þrífa þau með DI vatni, alkóhóli eða hreinsiefnum sem henta fyrir hreinrými. Engin sérstök viðhaldsþörf er vegna efnafræðilegs stöðugleika þeirra og óvirks yfirborðs.

Um okkur

XKH sérhæfir sig í hátækniþróun, framleiðslu og sölu á sérstökum ljósleiðaraefnum og nýjum kristalefnum. Vörur okkar þjóna ljósleiðaraiðnaði, neytendarafeindatækni og hernum. Við bjóðum upp á safír-ljósleiðaraíhluti, linsulok fyrir farsíma, keramik, LT, kísilkarbíð SIC, kvars og hálfleiðarakristallskífur. Með hæfni og nýjustu búnaði skarum við fram úr í óstöðluðum vöruvinnslum og stefnum að því að vera leiðandi hátæknifyrirtæki í ljósleiðaraefnum.