Fullt sjálfvirkt skurðartæki fyrir skífuhringi, vinnustærð 8 tommu/12 tommu skífuhringskurður

Fullsjálfvirkur búnaður til að skera skífuhringi, vinnustærð 8 tommu/12 tommu skífuhringskurður, mynd af sérstakri vöru

Stutt lýsing:

XKH hefur sjálfstætt þróað fullkomlega sjálfvirkt kerfi til að snyrta brúnir á skífum, sem er háþróuð lausn hönnuð fyrir framleiðsluferli á hálfleiðurum. Þessi búnaður inniheldur nýstárlega fjölása samstillta stýritækni og er með mjög stíft spindlakerfi (hámarks snúningshraði: 60.000 snúningar á mínútu), sem skilar nákvæmri brúnaskurði með skurðarnákvæmni allt að ±5 μm. Kerfið sýnir framúrskarandi samhæfni við ýmis hálfleiðaraundirlag, þar á meðal en ekki takmarkað við:
1. Kísilþynnur (Si): Hentar til brúnvinnslu á 8-12 tommu þynnum;
2. Samsettir hálfleiðarar: Þriðju kynslóðar hálfleiðaraefni eins og GaAs og SiC;
3. Sérstök undirlag: Piezoelectric efnisþynnur þar á meðal LT/LN;

Mátunarhönnunin styður við hraða skiptingu á mörgum rekstrarvörum, þar á meðal demantsblöðum og leysiskurðarhausum, með samhæfni sem fer fram úr iðnaðarstöðlum. Fyrir sérhæfðar ferlaþarfir bjóðum við upp á alhliða lausnir sem fela í sér:
· Sérstök framboð á rekstrarvörum fyrir skurði
· Sérsniðin vinnsla
· Lausnir fyrir hagræðingu ferlabreyta

Senda okkur tölvupóst

Eiginleikar

Tæknilegar breytur

Færibreyta	Eining	Upplýsingar
Hámarksstærð vinnustykkis	mm	ø12"
Snælda	Stillingar	Einn snælda
	Hraði	3.000–60.000 snúningar á mínútu
	Úttaksafl	1,8 kW (2,4 valfrjálst) við 30.000 mín⁻¹
	Hámarksþvermál blaðs.	Ø58 mm
X-ás	Skurðarsvið	310 mm
Y-ás	Skurðarsvið	310 mm
	Skrefaukning	0,0001 mm
	Staðsetningarnákvæmni	≤0,003 mm/310 mm, ≤0,002 mm/5 mm (ein villa)
Z-ás	Hreyfingarupplausn	0,00005 mm
Z-ás	Endurtekningarhæfni	0,001 mm
θ-ás	Hámarks snúningur	380 gráður
Snældugerð		Einn spindill, búinn stífu blaði fyrir hringskurð
Nákvæmni hringskurðar	míkrómetrar	±50
Nákvæmni staðsetningar skífu	míkrómetrar	±50
Skilvirkni einstakra skífa	mín/skífa	8
Skilvirkni margra skífa		Allt að 4 skífur unnar samtímis
Þyngd búnaðar	kg	≈3.200
Stærð búnaðar (B×D×H)	mm	2.730 × 1.550 × 2.070

Rekstrarregla

Kerfið nær framúrskarandi klippingarárangri með þessum grunntækni:

1. Greindur hreyfistýringarkerfi:
· Línulegur mótor með mikilli nákvæmni (endurtekningarstaðsetningarnákvæmni: ±0,5 μm)
· Sexása samstillt stýring sem styður flókna brautaráætlanagerð
· Rauntíma titringsdeyfingarreiknirit sem tryggja stöðugleika í skurði

2. Ítarlegt greiningarkerfi:
· Innbyggður 3D leysirhæðarskynjari (nákvæmni: 0,1 μm)
· Háskerpu CCD sjónræn staðsetning (5 megapixlar)
· Gæðaeftirlitseining á netinu

3. Fullkomlega sjálfvirkt ferli:
· Sjálfvirk hleðsla/afhleðsla (samhæft við FOUP staðlað viðmót)
· Snjallt flokkunarkerfi
· Lokað hreinsunarkerfi (hreinleiki: Flokkur 10)

Dæmigert forrit

Þessi búnaður skilar verulegu gildi í framleiðslu á hálfleiðurum:

Umsóknarsvið	Vinnsluefni	Tæknilegir kostir
Framleiðsla á IC	8/12" kísillplötur	Bætir röðun litografíu
Rafmagnstæki	SiC/GaN skífur	Kemur í veg fyrir galla á brúnum
MEMS skynjarar	SOI-vöfflur	Tryggir áreiðanleika tækisins
RF tæki	GaAs-skífur	Bætir afköst hátíðnisviða
Ítarleg umbúðir	Endurbyggðar vöfflur	Eykur umbúðanýtingu

Eiginleikar

1. Fjögurra stöðva stillingar fyrir mikla vinnsluhagkvæmni;
2. Stöðug losun og fjarlæging TAIKO hrings;
3. Mikil eindrægni við helstu rekstrarvörur;
4. Samstillt klippingartækni með mörgum ásum tryggir nákvæma brúnskurð;
5. Fullkomlega sjálfvirkt ferli dregur verulega úr launakostnaði;
6. Sérsniðin vinnuborðshönnun gerir kleift að vinna stöðugt úr sérstökum mannvirkjum;

Aðgerðir

1. Kerfi til að greina hringfall;
2. Sjálfvirk þrif á vinnuborði;
3. Greind UV-losunarkerfi;
4. Skráning rekstrarskrár;
5. Samþætting sjálfvirknieiningar verksmiðjunnar;

Þjónustuskuldbinding

XKH býður upp á alhliða þjónustu sem veitir stuðning allan líftíma búnaðar og er hönnuð til að hámarka afköst og rekstrarhagkvæmni í allri framleiðsluferlinu.
1. Sérsniðnar þjónustur
· Sérsniðin búnaðarstilling: Verkfræðiteymi okkar vinnur náið með viðskiptavinum að því að hámarka kerfisbreytur (skurðarhraða, val á blað o.s.frv.) út frá tilteknum efniseiginleikum (Si/SiC/GaAs) og kröfum um ferli.
· Stuðningur við þróun ferla: Við bjóðum upp á sýnishornsvinnslu með ítarlegum greiningarskýrslum, þar á meðal mælingum á brúnagrófleika og kortlagningu galla.
· Samþróun rekstrarefna: Fyrir ný efni (t.d. Ga₂O₃) vinnum við með leiðandi framleiðendum rekstrarefna að því að þróa sértæk blöð/leysigeisla.

2. Fagleg tæknileg aðstoð
· Sérstök aðstoð á staðnum: Úthlutaðu löggiltum verkfræðingum fyrir mikilvæg uppsetningarstig (venjulega 2-4 vikur), sem ná yfir:
Kvörðun búnaðar og fínstilling ferla
Þjálfun í hæfni rekstraraðila
Leiðbeiningar um samþættingu við hreinrými í ISO-flokki 5
· Fyrirbyggjandi viðhald: Ársfjórðungslegar heilsufarsskoðanir með titringsgreiningu og greiningu á servómótorum til að koma í veg fyrir ófyrirséðan niðurtíma.
· Fjarvöktun: Rauntímamælingar á afköstum búnaðar í gegnum IoT vettvang okkar (JCFront Connect®) með sjálfvirkum viðvörunum um frávik.

3. Virðisaukandi þjónusta
· Þekkingargrunnur um ferli: Aðgangur að yfir 300 staðfestum skurðaruppskriftum fyrir ýmis efni (uppfært ársfjórðungslega).
· Samræming tækniáætlunar: Framtíðartryggðu fjárfestingu þína með uppfærsluleiðum á vélbúnaði/hugbúnaði (t.d. gallagreiningareining byggð á gervigreind).
· Neyðarviðbrögð: Fjargreining innan 4 klukkustunda og íhlutun á staðnum innan 48 klukkustunda tryggð (alþjóðleg þjónusta).

4. Þjónustuinnviðir
· Ábyrgð á afköstum: Samningsbundin skuldbinding um ≥98% spenntíma búnaðar með viðbragðstíma sem tryggður er með þjónustusamningi.

Stöðug framför

Við gerum kannanir á ánægju viðskiptavina tvisvar á ári og innleiðum Kaizen-áætlanir til að bæta þjónustuframboð. Rannsóknar- og þróunarteymi okkar umbreytir innsýn í vettvangsuppfærslur á búnaði - 30% af úrbótum á vélbúnaði eiga rætur að rekja til endurgjafar viðskiptavina.