Þykkt safírskífa C-plan SSP/DSP með 300x1,0 mm
Kynna oblátukassa
Kristalefni | 99,999% af Al2O3, mikil hreinleiki, einkristallaður, Al2O3 | |||
Kristal gæði | Innfellingar, blokkarmerki, tvíburar, litur, örbólur og dreifingarmiðstöðvar eru ekki til staðar. | |||
Þvermál | 2 tommur | 3 tommur | 4 tommur | 6 tommur ~ 12 tommur |
50,8± 0,1 mm | 76,2 ± 0,2 mm | 100 ± 0,3 mm | Í samræmi við ákvæði staðlaðrar framleiðslu | |
Þykkt | 430 ± 15 µm | 550 ± 15 µm | 650±20µm | Hægt er að aðlaga það af viðskiptavini |
Stefnumörkun | C-plan (0001) í M-plan (1-100) eða A-plan (11-20) 0,2±0,1° /0,3±0,1°, R-plan (1-102), A-plan (11-20), M-plan (1-100), hvaða stefnu sem er, hvaða horn sem er | |||
Aðal flat lengd | 16,0 ± 1 mm | 22,0 ± 1,0 mm | 32,5 ± 1,5 mm | Í samræmi við ákvæði staðlaðrar framleiðslu |
Aðal flatt stefnumótun | A-plan (11-20) ± 0,2° | |||
TTV | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
LTV | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
TIR | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
BOW | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
Undirvinda | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
Framhlið | Epíplýst (Ra< 0,2nm) |
*Beiga: Frávik miðpunkts miðflatar frjálsrar, óklemmdrar skífu frá viðmiðunarplaninu, þar sem viðmiðunarplanið er skilgreint af þremur hornum jafnhliða þríhyrnings.
*Veiða: Mismunurinn á hámarks- og lágmarksfjarlægð miðflatar frjálsrar, óklemmdrar skífu frá viðmiðunarplaninu sem skilgreint er hér að ofan.
Hágæða vörur og þjónusta fyrir næstu kynslóð hálfleiðara og vöxt epitaxial:
Mikil flatnæmi (stýrð TTV, bogi, víra o.s.frv.)
Hágæða þrif (lítil agnamengun, lítil málmmengun)
Borun, grópun, skurður og slípun á bakhlið undirlags
Viðhengi gagna eins og hreinleika og lögun undirlags (valfrjálst)
Ef þú þarft á safír undirlögum að halda, vinsamlegast hafðu samband við:
póstur:eric@xkh-semitech.com+86 158 0194 2596 /doris@xkh-semitech.com+86 187 0175 6522
Við munum svara þér eins fljótt og auðið er!
Ítarlegt skýringarmynd

