8 tommu kísilskúffa P/N-gerð (100) 1-100Ω gúmmí endurheimt undirlag
Kynning á oblátukassa
8 tommu sílikonskífan er almennt notað sílikon undirlagsefni og er mikið notað í framleiðsluferli samþættra hringrása. Slíkar sílikonplötur eru almennt notaðar til að búa til ýmsar gerðir samþættra hringrása, þar á meðal örgjörva, minniskubba, skynjara og önnur rafeindatæki. 8 tommu kísilskífur eru almennt notaðar til að búa til flögur af tiltölulega stórum stærðum, með kostum þar á meðal stærra yfirborðsflatarmál og getu til að búa til fleiri flögur á einni kísilskífu, sem leiðir til aukinnar framleiðsluhagkvæmni. 8 tommu kísilskúffan hefur einnig góða vélræna og efnafræðilega eiginleika, sem er hentugur fyrir samþætta hringrásarframleiðslu í stórum stíl.
Eiginleikar vöru
8" P/N gerð, fáður sílikonskífa (25 stk)
Stefna: 200
Viðnám: 0,1 - 40 ohm•cm (það getur verið mismunandi frá lotu til lotu)
Þykkt: 725+/-20um
Prime/Monitor/Prófeinkunn
EFNISEIGNIR
Parameter | Einkennandi |
Tegund/Doant | P, Bór N, Fosfór N, Antimon N, Arsen |
Stefna | <100>, <111> skera niður stefnur í samræmi við forskrift viðskiptavina |
Súrefnisinnihald | 1019ppmA Sérsniðin vikmörk samkvæmt forskrift viðskiptavinarins |
Kolefnisinnihald | < 0,6 ppmA |
VÉLFRÆÐI EIGINLEIKAR
Parameter | Prime | Skjár/próf A | Próf |
Þvermál | 200±0,2 mm | 200 ± 0,2 mm | 200 ± 0,5 mm |
Þykkt | 725±20µm (staðall) | 725±25 µm (staðall) 450±25 µm 625±25 µm 1000±25 µm 1300±25 µm 1500±25 µm | 725±50µm (staðall) |
TTV | < 5 µm | < 10 µm | < 15 µm |
Boga | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
Vefja | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
Rúnun brún | HALF-STD | ||
Merking | Eingöngu aðal SEMI-Flat, SEMI-STD íbúðir Jeida Flat, Notch |
Parameter | Prime | Skjár/próf A | Próf |
Framhliðarviðmiðanir | |||
Yfirborðsástand | Chemical Mechanical Polished | Chemical Mechanical Polished | Chemical Mechanical Polished |
Yfirborðsgrófleiki | < 2 A° | < 2 A° | < 2 A° |
Mengun Agnir@ >0,3 µm | = 20 | = 20 | = 30 |
Haze, Pits Appelsínubörkur | Engin | Engin | Engin |
Sá, Marks Strönd | Engin | Engin | Engin |
Bakhliðarviðmið | |||
Sprungur, krókarfætur, sagarmerki, blettir | Engin | Engin | Engin |
Yfirborðsástand | Ætandi ætið |