8 tommu SiC 4H-N SiC undirlag í framleiðsluflokki

8 tommu SiC Framleiðsluflokkur 4H-N SiC undirlag Valmynd

Stutt lýsing:

8 tommu SiC hvarfefni eru notuð í rafeindatækjum með miklum krafti, svo sem afl MOSFET (Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistors), Schottky díóða og önnur afl hálfleiðara tæki.

Sendu tölvupóst til okkar

Upplýsingar um vöru

Vörumerki

Eftirfarandi tafla sýnir upplýsingar um 8 tommu SiC diskana okkar:

8 tommu N-gerð SiC DSP sérstakur
Númer	Atriði	Eining	Framleiðsla	Rannsóknir	Dúlla
1: færibreytur
1.1	fjölgerð	--	4H	4H	4H
1.2	yfirborðsstefnu	°	<11-20>4±0,5	<11-20>4±0,5	<11-20>4±0,5
2: Rafmagnsbreyta
2.1	lyfjaefni	--	n-gerð köfnunarefnis	n-gerð köfnunarefnis	n-gerð köfnunarefnis
2.2	viðnám	ohm ·cm	0,015~0,025	0,01~0,03	NA
3: Vélræn breytu
3.1	þvermál	mm	200±0,2	200±0,2	200±0,2
3.2	þykkt	μm	500±25	500±25	500±25
3.3	Hak stefnumörkun	°	[1- 100]±5	[1- 100]±5	[1- 100]±5
3.4	Hakdýpt	mm	1~1,5	1~1,5	1~1,5
3.5	LTV	μm	≤5(10mm*10mm)	≤5(10mm*10mm)	≤10(10mm*10mm)
3.6	TTV	μm	≤10	≤10	≤15
3.7	Bogi	μm	-25~25	-45~45	-65~65
3.8	Undið	μm	≤30	≤50	≤70
3.9	AFM	nm	Ra≤0,2	Ra≤0,2	Ra≤0,2
4: Uppbygging
4.1	örpípuþéttleiki	ea/cm2	≤2	≤10	≤50
4.2	málminnihald	atóm/cm2	≤1E11	≤1E11	NA
4.3	TSD	ea/cm2	≤500	≤1000	NA
4.4	BPD	ea/cm2	≤2000	≤5000	NA
4.5	TED	ea/cm2	≤7000	≤10000	NA
5.Gæði að framan
5.1	framan	--	Si	Si	Si
5.2	yfirborðsfrágangur	--	Si-andlit CMP	Si-andlit CMP	Si-andlit CMP
5.3	ögn	ea/wafer	≤100 (stærð ≥0,3μm)	NA	NA
5.4	klóra	ea/wafer	≤5, Heildarlengd≤200mm	NA	NA
5.5	Edge flögur/dælingar/sprungur/blettir/mengun	--	Enginn	Enginn	NA
5.6	Fjölgerð svæði	--	Enginn	Svæði ≤10%	Svæði ≤30%
5.7	merking að framan	--	Enginn	Enginn	Enginn
6: Afturgæði
6.1	aftan frágang	--	C-andlit þingmaður	C-andlit þingmaður	C-andlit þingmaður
6.2	klóra	mm	NA	NA	NA
6.3	Bakgalla brún flögur/inndráttur	--	Enginn	Enginn	NA
6.4	Grófur bak	nm	Ra≤5	Ra≤5	Ra≤5
6.5	Bakmerking	--	Hak	Hak	Hak
7: brún
7.1	brún	--	Chamfer	Chamfer	Chamfer
8: Pakki
8.1	umbúðir	--	Epi-tilbúinn með lofttæmi umbúðir	Epi-tilbúinn með lofttæmi umbúðir	Epi-tilbúinn með lofttæmi umbúðir
8.2	umbúðir	--	Fjölþráður kassettu umbúðir	Fjölþráður kassettu umbúðir	Fjölþráður kassettu umbúðir