8 tommu SiC framleiðslugæða skífa 4H-N SiC undirlag
Eftirfarandi tafla sýnir forskriftir 8 tommu SiC skífna okkar:
| 8 tommu N-gerð SiC DSP upplýsingar | |||||
| Fjöldi | Vara | Eining | Framleiðsla | Rannsóknir | Brúða |
| 1: breytur | |||||
| 1.1 | fjölgerð | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | yfirborðsstefnu | ° | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 |
| 2: Rafmagnsbreyta | |||||
| 2.1 | efni | -- | n-gerð köfnunarefnis | n-gerð köfnunarefnis | n-gerð köfnunarefnis |
| 2.2 | viðnám | óm ·cm | 0,015~0,025 | 0,01~0,03 | NA |
| 3: Vélrænn breytur | |||||
| 3.1 | þvermál | mm | 200±0,2 | 200±0,2 | 200±0,2 |
| 3.2 | þykkt | míkrómetrar | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | Hakstefnu | ° | [1-100]±5 | [1-100]±5 | [1-100]±5 |
| 3.4 | Dýpt haksins | mm | 1~1,5 | 1~1,5 | 1~1,5 |
| 3,5 | LTV | míkrómetrar | ≤5 (10 mm * 10 mm) | ≤5 (10 mm * 10 mm) | ≤10 (10 mm * 10 mm) |
| 3.6 | TTV | míkrómetrar | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | Bogi | míkrómetrar | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3,8 | Undirvinda | míkrómetrar | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | AFM | nm | Ra≤0,2 | Ra≤0,2 | Ra≤0,2 |
| 4: Uppbygging | |||||
| 4.1 | þéttleiki örpípa | stk/cm² | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | málminnihald | atóm/cm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | TSD | stk/cm² | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | BPD | stk/cm² | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4,5 | TED | stk/cm² | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5. Gæði að framan | |||||
| 5.1 | framhlið | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | yfirborðsáferð | -- | Si-andlit CMP | Si-andlit CMP | Si-andlit CMP |
| 5.3 | ögn | stk/vafra | ≤100 (stærð ≥0,3μm) | NA | NA |
| 5.4 | klóra | stk/vafra | ≤5, Heildarlengd ≤200 mm | NA | NA |
| 5,5 | Brún flísar/innskot/sprungur/blettir/mengun | -- | Enginn | Enginn | NA |
| 5.6 | Fjöltýpusvæði | -- | Enginn | Svæði ≤10% | Svæði ≤30% |
| 5.7 | framhliðarmerking | -- | Enginn | Enginn | Enginn |
| 6: Gæði baksins | |||||
| 6.1 | bakhlið | -- | C-andlit MP | C-andlit MP | C-andlit MP |
| 6.2 | klóra | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | Bakgallabrún flísar/innskot | -- | Enginn | Enginn | NA |
| 6.4 | Ójöfnur í baki | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6,5 | Merking á bakhlið | -- | Hak | Hak | Hak |
| 7: brún | |||||
| 7.1 | brún | -- | Skásett | Skásett | Skásett |
| 8: Pakki | |||||
| 8.1 | umbúðir | -- | Epi-tilbúinn með lofttæmingu umbúðir | Epi-tilbúinn með lofttæmingu umbúðir | Epi-tilbúinn með lofttæmingu umbúðir |
| 8.2 | umbúðir | -- | Fjölþráður kassettuumbúðir | Fjölþráður kassettuumbúðir | Fjölþráður kassettuumbúðir |
Ítarlegt skýringarmynd
Skrifaðu skilaboðin þín hér og sendu þau til okkar