8 tommu Lithium Niobate Wafer LiNbO3 LN obláta
Ítarlegar upplýsingar
| Þvermál | 200±0,2 mm |
| meiriháttar flatneskju | 57,5 mm, hak |
| Stefna | 128Y-Cut, X-Cut, Z-Cut |
| Þykkt | 0,5±0,025 mm, 1,0±0,025 mm |
| Yfirborð | DSP og SSP |
| TTV | < 5µm |
| BOGA | ± (20µm ~40um) |
| Undið | <= 20µm ~ 50µm |
| LTV (5mmx5mm) | <1,5 um |
| PLTV(<0,5um) | ≥98% (5mm*5mm) með 2mm brún undanskilinni |
| Ra | Ra<=5A |
| Scratch & Dig (S/D) | 20/10, 40/20, 60/40 |
| Edge | Hittu SEMI M1.2@with GC800#. venjulegur á C gerð |
Sérstakar upplýsingar
Þvermál: 8 tommur (um það bil 200 mm)
Þykkt: Algeng staðalþykkt er á bilinu 0,5 mm til 1 mm. Aðrar þykkt er hægt að aðlaga í samræmi við sérstakar kröfur
Kristallstefna: Helsta algenga kristalstefnan er 128Y-skera, Z-skera og X-skera kristalstefna, og önnur kristalstefna er hægt að veita eftir tilteknu forriti
Stærðarkostir: 8 tommu serrata karpadiskar hafa nokkra stærðarkosti fram yfir smærri diska:
Stærra svæði: Í samanburði við 6 tommu eða 4 tommu diska, veita 8 tommu diskar stærra yfirborðsflatarmál og geta hýst fleiri tæki og samþættar hringrásir, sem leiðir til aukinnar framleiðslu skilvirkni og afraksturs.
Meiri þéttleiki: Með því að nota 8 tommu oblátur er hægt að búa til fleiri tæki og íhluti á sama svæði, sem eykur samþættingu og þéttleika tækisins, sem aftur eykur afköst tækisins.
Betri samkvæmni: Stærri diskar hafa betri samkvæmni í framleiðsluferlinu, hjálpa til við að draga úr breytileika í framleiðsluferlinu og bæta áreiðanleika og samkvæmni vörunnar.
8 tommu L og LN skífurnar hafa sama þvermál og almennar kísilskífur og auðvelt er að tengja þær. Sem hágæða „sameiginleg SAW sía“ efni sem þolir hátíðnisvið.
Ítarleg skýringarmynd
