4H/6H-P 6 tommu SiC oblátur Núll MPD bekk Framleiðslueinkunn Dummy Grade

4H/6H-P 6 tommu SiC oblátur Núll MPD einkunn Framleiðsluflokkur Dummy Grade Valin mynd

Stutt lýsing:

4H/6H-P gerð 6 tommu SiC skífunnar er hálfleiðara efni sem notað er í framleiðslu rafeindatækja, þekkt fyrir framúrskarandi hitaleiðni, háa niðurbrotsspennu og viðnám gegn háum hita og tæringu. Framleiðslustigið og Zero MPD (Micro Pipe Defect) einkunnin tryggja áreiðanleika þess og stöðugleika í afkastamikilli rafeindatækni. Framleiðsluháðar oblátur eru notaðar til stórfelldra tækjaframleiðslu með ströngu gæðaeftirliti, en dummy-gráðu oblátur eru fyrst og fremst notaðar til kembiforrita og prófunar á búnaði. Framúrskarandi eiginleikar SiC gera það að verkum að það er mikið notað í háhita-, háspennu- og hátíðni rafeindatækjum, svo sem rafmagnstækjum og RF-tækjum.

Sendu tölvupóst til okkar

Upplýsingar um vöru

Vörumerki

4H/6H-P Tegund SiC samsett undirlag Algeng færibreytutafla

6 tommu þvermál Silicon Carbide (SiC) undirlag Forskrift

Einkunn			Núll MPD framleiðslaEinkunn (Z Einkunn)	Stöðluð framleiðslaEinkunn (P Einkunn)	Dummy einkunn (D Einkunn)
Þvermál			145,5 mm~150,0 mm
Þykkt			350 μm ± 25 μm
Wafer Orientation			-Offás: 2,0°-4,0° í átt að [1120] ± 0,5° fyrir 4H/6H-P, Á ás:〈111〉± 0,5° fyrir 3C-N
Micropipe Density			0 cm-2
Viðnám	p-gerð 4H/6H-P		≤0,1 Ωꞏcm		≤0,3 Ωꞏcm
	n-gerð 3C-N		≤0,8 mΩꞏcm		≤1 m Ωꞏcm
Primary Flat Orientation		4H/6H-P	-{1010} ± 5,0°
		3C-N	-{110} ± 5,0°
Aðal Flat Lengd			32,5 mm ± 2,0 mm
Secondary Flat Lengd			18,0 mm ± 2,0 mm
Secondary Flat Orientation			Kísill andlit upp: 90° CW. frá Prime flat ± 5,0°
Edge útilokun			3 mm		6 mm
LTV/TTV/Bow/Warp			≤2,5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm		≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm
Grófleiki			Pólskt Ra≤1 nm
			CMP Ra≤0,2 nm		Ra≤0,5 nm
Edge sprungur með hástyrksljósi			Engin		Uppsöfnuð lengd ≤ 10 mm, ein lengd ≤2 mm
Hexplötur með hástyrksljósi			Uppsafnað flatarmál ≤0,05%		Uppsafnað flatarmál ≤0,1%
Polytype Areas By High Intensity Light			Engin		Uppsafnað flatarmál≤3%
Sjónræn kolefnisinnihald			Uppsafnað flatarmál ≤0,05%		Uppsafnað flatarmál ≤3%
Kísilyfirborðs rispur með hásterku ljósi			Engin		Uppsöfnuð lengd ≤1× þvermál skúffu
Edge Chips High By Intensity Light			Ekkert leyfilegt ≥0,2 mm breidd og dýpt		5 leyfðar, ≤1 mm hver
Kísilyfirborðsmengun með mikilli styrkleika			Engin
Umbúðir			Multi-wafer kassetta eða stakur oblátur ílát

Athugasemdir:

※ Gallatakmarkanir gilda um allt flöt yfirborðsins nema fyrir brúnasvæðið. # Athugaðu rispurnar á Si andliti o

4H/6H-P gerð 6 tommu SiC skífunnar með Zero MPD einkunn og framleiðslu eða dummy einkunn er mikið notað í háþróuðum rafrænum forritum. Framúrskarandi varmaleiðni hans, hár niðurbrotsspenna og viðnám gegn erfiðu umhverfi gera það tilvalið fyrir rafeindatækni, svo sem háspennurofa og invertera. Núll MPD einkunnin tryggir lágmarks galla, mikilvægt fyrir tæki með mikla áreiðanleika. Framleiðsluháðar oblátur eru notaðar í stórum framleiðslu á rafmagnstækjum og RF forritum, þar sem frammistaða og nákvæmni skipta sköpum. Dummy-gráðu oblátur eru aftur á móti notaðar til kvörðunarferlis, prófunar á búnaði og frumgerð, sem gerir stöðugt gæðaeftirlit í framleiðsluumhverfi hálfleiðara.

Kostir N-gerð SiC samsettra hvarfefna eru ma

Hár hitaleiðni: 4H/6H-P SiC skífan dreifir hita á skilvirkan hátt, sem gerir það hentugt fyrir háhita og afl rafeindabúnað.
Há bilunarspenna: Hæfni þess til að höndla háspennu án bilunar gerir það tilvalið fyrir rafeindatækni og háspennuskipti.
Núll MPD (Micro Pipe Defect) einkunn: Lágmarks gallaþéttleiki tryggir meiri áreiðanleika og afköst, mikilvægt fyrir krefjandi rafeindatæki.
Framleiðslueinkunn fyrir fjöldaframleiðslu: Hentar fyrir stórfellda framleiðslu á hágæða hálfleiðara tækjum með ströngum gæðastöðlum.
Dummy-gráðu fyrir prófun og kvörðun: Gerir kleift að fínstilla ferla, búnaðarprófanir og frumgerð án þess að nota dýra framleiðslu-gráðu oblátur.

Á heildina litið bjóða 4H/6H-P 6 tommu SiC oblátur með Zero MPD einkunn, framleiðslueinkunn og dummy einkunn umtalsverða kosti fyrir þróun hágæða rafeindatækja. Þessar skífur eru sérstaklega gagnlegar í forritum sem krefjast háhitanotkunar, mikils aflþéttleika og skilvirkrar orkubreytingar. Núll MPD einkunnin tryggir lágmarksgalla fyrir áreiðanlegan og stöðugan afköst tækisins, á meðan framleiðslugráða obláturnar styðja stóra framleiðslu með ströngu gæðaeftirliti. Dummy-gráðu oblátur bjóða upp á hagkvæma lausn fyrir hagræðingu ferla og kvörðun búnaðar, sem gerir þær ómissandi fyrir hánákvæmni hálfleiðaraframleiðslu.