4H/6H-P 6 tommu SiC skífa Núll MPD gæðaflokkur Framleiðslugæðaflokkur Dummy Grade
4H/6H-P gerð SiC samsett undirlags Algeng færibreytutafla
6 kísillkarbíð (SiC) undirlag með tommu þvermál Upplýsingar
Einkunn | Núll MPD framleiðslaEinkunn (Ö Einkunn) | Staðlað framleiðslaEinkunn (P Einkunn) | Gervi einkunn (D Einkunn) | ||
Þvermál | 145,5 mm ~ 150,0 mm | ||||
Þykkt | 350 μm ± 25 μm | ||||
Stefnumörkun skífu | -Offás: 2,0°-4,0° í átt að [1120] ± 0,5° fyrir 4H/6H-P, á ás: 〈111〉± 0,5° fyrir 3C-N | ||||
Þéttleiki örpípa | 0 cm-2 | ||||
Viðnám | p-gerð 4H/6H-P | ≤0,1 Ωꞏcm | ≤0,3 Ωꞏcm | ||
n-gerð 3C-N | ≤0,8 mΩꞏcm | ≤1 m Ωꞏcm | |||
Aðal flat stefnumörkun | 4H/6H-P | -{1010} ± 5,0° | |||
3C-N | -{110} ± 5,0° | ||||
Aðal flat lengd | 32,5 mm ± 2,0 mm | ||||
Auka flat lengd | 18,0 mm ± 2,0 mm | ||||
Önnur flat stefnumörkun | Sílikonhlið upp: 90° með réttu frá grunnfleti ± 5,0° | ||||
Útilokun brúnar | 3 mm | 6 mm | |||
LTV/TTV/Bow/Warp | ≤2,5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||
Grófleiki | Pólskur Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0,2 nm | Ra≤0,5 nm | ||||
Sprungur á brúnum vegna mikils ljósstyrks | Enginn | Samanlögð lengd ≤ 10 mm, ein lengd ≤ 2 mm | |||
Sexhyrndar plötur með mikilli styrkleikaljósi | Uppsafnað svæði ≤0,05% | Uppsafnað svæði ≤0,1% | |||
Fjöltýpusvæði með mikilli ljósstyrk | Enginn | Uppsafnað svæði ≤3% | |||
Sjónræn kolefnisinnfellingar | Uppsafnað svæði ≤0,05% | Uppsafnað svæði ≤3% | |||
Kísillyfirborð rispast af völdum mikils ljóss | Enginn | Uppsafnaður lengd ≤1 × þvermál skífu | |||
Kantflísar með mikilli ljósstyrk | Ekkert leyfilegt ≥0,2 mm breidd og dýpt | 5 leyfð, ≤1 mm hvert | |||
Mengun á kísilyfirborði vegna mikillar styrkleika | Enginn | ||||
Umbúðir | Fjölvafrakassa eða stakur vafraílát |
Athugasemdir:
※ Gallamörk gilda um allt yfirborð skífunnar nema svæðið þar sem brúnirnar eru útilokaðar. # Rispur ættu að vera athugaðar á Si yfirborðinu
4H/6H-P gerð 6 tommu SiC skífa með núll MPD gæðaflokki og framleiðslu- eða gervigæði er mikið notuð í háþróuðum rafeindabúnaði. Frábær varmaleiðni hennar, mikil bilunarspenna og þol gegn erfiðu umhverfi gera hana tilvalda fyrir aflrafmagnsrafmagn, svo sem háspennurofa og invertera. Núll MPD gæðaflokkurinn tryggir lágmarksgalla, sem eru mikilvægir fyrir mjög áreiðanlegan búnað. Framleiðslugæðaskífur eru notaðar í stórfelldri framleiðslu á afltækjum og RF-forritum, þar sem afköst og nákvæmni eru lykilatriði. Gervigæðaskífur eru hins vegar notaðar til kvörðunar ferla, prófana á búnaði og frumgerðasmíði, sem gerir kleift að hafa stöðuga gæðaeftirlit í framleiðsluumhverfi hálfleiðara.
Kostir N-gerð SiC samsettra undirlaga eru meðal annars
- Mikil hitaleiðni4H/6H-P SiC-skífan dreifir hita á skilvirkan hátt, sem gerir hana hentuga fyrir rafeindabúnað við háan hita og mikla afl.
- Há bilunarspennaHæfni þess til að takast á við háspennu án bilunar gerir það tilvalið fyrir aflrafmagns- og háspennurofaforrit.
- Núll MPD (örgalla í pípu) einkunnLágmarks gallaþéttleiki tryggir meiri áreiðanleika og afköst, sem er mikilvægt fyrir krefjandi rafeindabúnað.
- Framleiðsluhæft fyrir fjöldaframleiðsluHentar fyrir stórfellda framleiðslu á afkastamiklum hálfleiðurum með ströngum gæðastöðlum.
- Prófunar- og kvörðunarprófunarprófGerir kleift að hámarka ferla, prófa búnað og smíða frumgerðir án þess að nota dýrar framleiðsluhæfar skífur.
Í heildina bjóða 4H/6H-P 6 tommu SiC skífur með núll MPD gæðaflokki, framleiðslugæðum og gervigæði upp á verulega kosti fyrir þróun afkastamikla rafeindatækja. Þessar skífur eru sérstaklega gagnlegar í forritum sem krefjast notkunar við háan hita, mikillar aflþéttleika og skilvirkrar aflbreytingar. Núll MPD gæðaflokkurinn tryggir lágmarksgalla fyrir áreiðanlega og stöðuga afköst tækja, en framleiðslugæðaskífurnar styðja stórfellda framleiðslu með ströngum gæðaeftirliti. Gervigæðisskífur bjóða upp á hagkvæma lausn fyrir ferlabestun og kvörðun búnaðar, sem gerir þær ómissandi fyrir nákvæma hálfleiðaraframleiðslu.
Ítarlegt skýringarmynd

