156 mm 159 mm 6 tommu safírskífa fyrir burðartæki C-Plane DSP TTV
Upplýsingar
Vara | 6 tommu C-plane (0001) safírskífur | |
Kristalefni | 99,999%, mikil hreinleiki, einkristallaður Al2O3 | |
Einkunn | Tilbúinn fyrir sótthreinsun | |
Yfirborðsstefnu | C-plan (0001) | |
C-plan frávik frá M-ás 0,2 +/- 0,1° | ||
Þvermál | 100,0 mm +/- 0,1 mm | |
Þykkt | 650 μm +/- 25 μm | |
Aðal flat stefnumörkun | C-plan (00-01) +/- 0,2° | |
Einhliða slípuð | Framhlið | Epípússað, Ra < 0,2 nm (með AFM) |
(SSP) | Bakflötur | Fínmalað, Ra = 0,8 μm til 1,2 μm |
Tvöföld hliðarslípuð | Framhlið | Epípússað, Ra < 0,2 nm (með AFM) |
(DSP) | Bakflötur | Epípússað, Ra < 0,2 nm (með AFM) |
TTV | < 20 míkrómetrar | |
BOW | < 20 míkrómetrar | |
VARP | < 20 míkrómetrar | |
Þrif / Umbúðir | Þrif á hreinum rýmum í flokki 100 og lofttæmd umbúðir, | |
25 stykki í einni kassettuumbúðum eða umbúðum fyrir hvert stykki. |
Kylopoulos-aðferðin (KY-aðferðin) er nú notuð af mörgum fyrirtækjum í Kína til að framleiða safírkristalla til notkunar í rafeinda- og ljósfræðiiðnaði.
Í þessu ferli er mjög hreint áloxíð brætt í deiglu við hitastig yfir 2100 gráður á Celsíus. Venjulega er deiglan úr wolfram eða mólýbdeni. Nákvæmlega stefndur frækristall er dýft ofan í bráðna áloxíðið. Frækristallinn er hægt dreginn upp á við og hægt er að snúa honum samtímis. Með því að stjórna nákvæmlega hitastigshallanum, toghraðanum og kælihraðanum er hægt að framleiða stóran, einkristallaðan, næstum sívalningslaga stöng úr bráðnuninni.
Eftir að einkristalla safírstöngunum hefur verið ræktað eru þær boraðar í sívalningslaga stangir, sem síðan eru skornar í þá gluggaþykkt sem óskað er eftir og að lokum pússaðar þar til þær hafa fengið þá yfirborðsáferð sem óskað er eftir.
Ítarlegt skýringarmynd


