12 tommu fullkomlega sjálfvirk nákvæmnisskurðarsög, sérstakt skurðarkerfi fyrir Si/SiC og HBM (Al)

Stutt lýsing:

Þessi fullkomlega sjálfvirka nákvæmnisskurðarbúnaður er háþróað skurðarkerfi sem er sérstaklega þróað fyrir hálfleiðara- og rafeindaíhlutaiðnaðinn. Hann sameinar háþróaða hreyfistýringartækni og snjalla sjónræna staðsetningu til að ná nákvæmni í vinnslu á míkrónómarki. Þessi búnaður hentar fyrir nákvæma skurð á ýmsum hörðum og brothættum efnum, þar á meðal:
1. Hálfleiðaraefni: Kísill (Si), kísillkarbíð (SiC), gallíumarseníð (GaAs), litíumtantalat/litíumníóbat (LT/LN) undirlag o.s.frv.
2. Umbúðaefni: Keramik undirlag, QFN/DFN rammar, BGA umbúða undirlag.
3. Virknitæki: Yfirborðshljóðbylgjusíur (SAW), hitastýrðar kælieiningar, WLCSP-skífur.

XKH býður upp á prófanir á efnissamrýmanleika og sérstillingarþjónustu fyrir ferla til að tryggja að búnaðurinn passi fullkomlega við framleiðsluþarfir viðskiptavina og skilar bestu lausnum fyrir bæði rannsóknar- og þróunarsýni og lotuvinnslu.

Senda okkur tölvupóst

Eiginleikar

Tæknilegar breytur

Færibreyta	Upplýsingar
Vinnustærð	Φ8", Φ12"
Snælda	Tvíása 1,2/1,8/2,4/3,0, hámark 60000 snúningar á mínútu
Stærð blaðs	2" ~ 3"
Y1 / Y2 ás	Einþrepa hækkun: 0,0001 mm
	Staðsetningarnákvæmni: < 0,002 mm
	Skurðarsvið: 310 mm
X-ás	Fóðrunarhraði: 0,1–600 mm/s
Z1 / Z2 ás	Einþrepa hækkun: 0,0001 mm
Z1 / Z2 ás	Staðsetningarnákvæmni: ≤ 0,001 mm
θ Ás	Staðsetningarnákvæmni: ±15"
Þrifstöð	Snúningshraði: 100–3000 snúningar á mínútu
Þrifstöð	Þrifaðferð: Sjálfvirk skolun og þeyting
Rekstrarspenna	Þriggja fasa 380V 50Hz
Stærð (B×D×H)	1550 × 1255 × 1880 mm
Þyngd	2100 kg

Vinnuregla

Búnaðurinn nær mikilli nákvæmni í skurði með eftirfarandi tækni:
1. Snældukerfi með mikilli stífni: Snúningshraði allt að 60.000 snúninga á mínútu, búin demantsblöðum eða leysiskurðarhausum til að aðlagast mismunandi efniseiginleikum.

2. Hreyfistýring fyrir marga ása: Staðsetningarnákvæmni X/Y/Z-ása upp á ±1μm, ásamt nákvæmum rifum til að tryggja frávikslausar skurðarleiðir.

3. Snjöll sjónræn stilling: Hágæða CCD (5 megapixlar) greinir sjálfkrafa skurðgötur og bætir upp fyrir aflögun eða rangstöðu efnis.

4. Kæling og rykhreinsun: Innbyggt kælikerfi með hreinu vatni og rykhreinsun með sogi til að lágmarka hitauppstreymi og agnatengun.

Skurðarstillingar

1. Blaðskurður: Hentar fyrir hefðbundin hálfleiðaraefni eins og Si og GaAs, með skurðbreidd upp á 50–100μm.

2. Stealth Laser Dicing: Notað fyrir ofurþunnar skífur (<100μm) eða brothætt efni (t.d. LT/LN), sem gerir kleift að aðskilja þær án streitu.

Dæmigert forrit

Samhæft efni	Umsóknarsvið	Vinnslukröfur
Kísill (Si)	IC-einingar, MEMS-skynjarar	Hár nákvæmni skurður, flísun <10μm
Kísillkarbíð (SiC)	Rafmagnstæki (MOSFET/díóður)	Lítið tjón á skurði, hagræðing á hitastjórnun
Gallíumarseníð (GaAs)	RF tæki, ljósleiðaraflsflísar	Forvarnir gegn örsprungum, hreinlætisstjórnun
LT/LN undirlag	SAW síur, ljósleiðarar	Streitulaus skurður, sem varðveitir piezoelectric eiginleika
Keramik undirlag	Rafmagnseiningar, LED umbúðir	Vinnsla á efni með mikilli hörku, flatnæmi á brúnum
QFN/DFN rammar	Ítarleg umbúðir	Samtímis skurður með mörgum flísum, hagræðing á skilvirkni
WLCSP-vöfflur	Umbúðir á oblátustigi	Skemmdalaus skurður á örþunnum skífum (50μm)

Kostir

1. Hraðskönnun á kassettugrindum með árekstrarvarnaviðvörun, hraðri staðsetningu og öflugri villuleiðréttingargetu.

2. Bætt tvíspindelskurðarstilling, sem bætir skilvirkni um það bil 80% samanborið við kerfi með einum spindel.

3. Nákvæmlega innfluttar kúluskrúfur, línulegar leiðbeiningar og lokuð lykkjastýring á Y-ás rifkvarða, sem tryggir langtíma stöðugleika nákvæmrar vinnslu.

4. Full sjálfvirk hleðsla/afhleðsla, flutningsstaðsetning, röðunarskurður og skurðarskoðun, sem dregur verulega úr vinnuálagi rekstraraðila (OP).

5. Snældufesting í gantry-stíl, með lágmarks 24 mm bili á milli tveggja blaða, sem gerir kleift að aðlagast betur skurðarferlum með tveimur snældum.

Eiginleikar

1. Hárnákvæm hæðarmæling án snertingar.

2. Tvöfaldur blaðskurður á mörgum skífum á einni bakka.

3. Sjálfvirk kvörðun, skurðskoðun og kerfi til að greina brot á blaðinu.

4. Styður fjölbreytt ferli með valhæfum sjálfvirkum samræmingaralgrímum.

5. Sjálfleiðréttingarvirkni fyrir bilanir og rauntíma eftirlit með mörgum stöðum.

6. Skoðunargeta fyrir fyrstu skurð eftir fyrstu teningaskurð.

7. Sérsniðnar sjálfvirknieiningar verksmiðjunnar og aðrar valfrjálsar aðgerðir.

Samhæfð efni

Þjónusta við búnað

Við veitum alhliða aðstoð, allt frá vali á búnaði til langtímaviðhalds:

(1) Sérsniðin þróun
· Mæla með lausnum fyrir blað-/leysiskurð út frá efniseiginleikum (t.d. SiC-hörku, GaAs-brotleika).

· Bjóðið upp á ókeypis sýnishornsprófanir til að staðfesta gæði skurðarins (þar á meðal flísun, skurðbreidd, yfirborðsgrófleika o.s.frv.).

(2) Tækniþjálfun
· Grunnþjálfun: Notkun búnaðar, stilling breytu, reglubundið viðhald.
· Framhaldsnámskeið: Bestun ferla fyrir flókin efni (t.d. spennulaus skurður á LT undirlögum).

(3) Eftirsöluþjónusta
· Viðbrögð allan sólarhringinn: Fjargreining eða aðstoð á staðnum.
· Varahlutaframboð: Snældur, blöð og ljósleiðarar á lager til að skipta þeim fljótt út.
· Fyrirbyggjandi viðhald: Regluleg kvörðun til að viðhalda nákvæmni og lengja endingartíma.

Kostir okkar

✔ Reynsla af iðnaði: Þjónustar yfir 300 framleiðendur hálfleiðara og rafeindatækni um allan heim.
✔ Nýjasta tækni: Nákvæmar línulegar leiðarar og servókerfi tryggja leiðandi stöðugleika í greininni.
✔ Alþjóðlegt þjónustunet: Þjónusta í Asíu, Evrópu og Norður-Ameríku fyrir staðbundna aðstoð.
Fyrir prófanir eða fyrirspurnir, hafið samband!