Kísilkarbíð keramik chuck fyrir SiC safír Si GAA skífu

Stutt lýsing:

Kísilkarbíð keramikfjöðurinn er afkastamikill pallur hannaður fyrir skoðun á hálfleiðurum, framleiðslu á skífum og límingu. Hann er smíðaður úr háþróuðum keramikefnum - þar á meðal sinteruðu SiC (SSiC), hvarfbundnu SiC (RSiC), kísilnítríði og álnítríði - og býður upp á mikla stífleika, litla hitaþenslu, framúrskarandi slitþol og langan endingartíma.

Senda okkur tölvupóst

Eiginleikar

Ítarlegt skýringarmynd

Yfirlit yfir kísilkarbíð (SiC) keramikfjöður

HinnKísilkarbíð keramik chucker afkastamikill vettvangur hannaður fyrir skoðun á hálfleiðurum, framleiðslu á skífum og límingu. Smíðaður úr háþróuðum keramikefnum - þar á meðalSinterað SiC (SSiC), hvarfbundið SiC (RSiC), kísillnítríðogálnítríð—það býður upp ámikil stífleiki, lítil hitauppstreymi, frábær slitþol og langur endingartími.

Með nákvæmri verkfræði og nýjustu tækni í fægingu skilar spennuhylkiðFlatleiki á undir-míkron, spegilgæði yfirborð og langtíma víddarstöðugleiki, sem gerir það að kjörlausn fyrir mikilvæg hálfleiðaraferli.

Helstu kostir

Mikil nákvæmni
Flatleiki stjórnaður innan0,3–0,5 míkrómetrar, sem tryggir stöðugleika skífunnar og samræmda nákvæmni í ferlinu.
Spegilpússun
NáirRa 0,02 μmYfirborðsgrófleiki, sem lágmarkar rispur og mengun á skífum — fullkomið fyrir afar hreint umhverfi.
Mjög létt
Sterkari en léttari en kvars- eða málmundirlag, sem bætir hreyfistjórnun, viðbragðshraða og nákvæmni staðsetningar.
Mikil stífleiki
Framúrskarandi Young-stuðull tryggir víddarstöðugleika við mikið álag og mikinn hraða.
Lítil hitauppþensla
CTE passar vel við kísilskífur, dregur úr hitaálagi og eykur áreiðanleika ferla.
Framúrskarandi slitþol
Mikil hörku varðveitir flatneskju og nákvæmni jafnvel við langvarandi notkun við mikinn tíðni.

Framleiðsluferli

Undirbúningur hráefnis
Háhreint SiC duft með stýrðri agnastærð og afar lágum óhreinindum.
Mótun og sintrun
Tækni eins ogþrýstingslaus sintrun (SSiC) or hvarftenging (RSiC)framleiða þétt, einsleit keramik undirlag.
Nákvæm vinnsla
CNC-slípun, leysirskurður og afar nákvæm vinnsla ná ±0,01 mm vikmörkum og ≤3 μm samsíða vinnslu.
Yfirborðsmeðferð
Fjölþrepa slípun og fæging upp í Ra 0,02 μm; valfrjáls húðun í boði fyrir tæringarþol eða sérsniðnar núningseiginleika.
Skoðun og gæðaeftirlit
Truflunarmælar og hrjúfleikaprófar staðfesta að þær séu í samræmi við forskriftir hálfleiðara.

Tæknilegar upplýsingar

Færibreyta	Gildi	Eining
Flatleiki	≤0,5	míkrómetrar
Stærðir á skífum	6'', 8'', 12'' (sérsniðin í boði)	—
Yfirborðsgerð	Tegund pinna / Tegund hrings	—
Hæð pinna	0,05–0,2	mm
Lágmarksþvermál pinna	ϕ0,2	mm
Lágmarks bil milli pinna	3	mm
Lágmarksbreidd þéttihringsins	0,7	mm
Yfirborðsgrófleiki	Ra 0,02	míkrómetrar
Þykktarþol	±0,01	mm
Þvermálsþol	±0,01	mm
Umburðarlyndi samsíða	≤3	míkrómetrar

Helstu notkunarsvið

Skoðunarbúnaður fyrir hálfleiðaraskífur
Skífuframleiðsla og flutningskerfi
Verkfæri til að binda og pakka skífur
Háþróuð framleiðsla á ljósleiðaratækjum
Nákvæm tæki sem þurfa afar flatt og afar hreint yfirborð

Spurningar og svör – Kísilkarbíð keramik chuck

Spurning 1: Hvernig bera SiC keramikfjöður saman við kvars- eða málmfjöður?
A1: SiC-spennur eru léttari, stífari og hafa CTE svipað og kísilplötur, sem lágmarkar hitauppstreymi. Þær bjóða einnig upp á betri slitþol og lengri líftíma.

Spurning 2: Hvaða flatnæmi er hægt að ná?
A2: Stýrt innan0,3–0,5 míkrómetrar, sem uppfyllir strangar kröfur framleiðslu hálfleiðara.

Spurning 3: Mun yfirborðið rispa skífur?
A3: Nei—spegilslípað tilRa 0,02 μm, sem tryggir rispulausa meðhöndlun og minni agnamyndun.

Q4: Hvaða stærðir af skífum eru studdar?
A4: Staðlaðar stærðir af6'', 8'' og 12'', með möguleika á sérstillingum.

Spurning 5: Hvernig er hitaþolið?
A5: SiC keramik býður upp á framúrskarandi afköst við háan hita með lágmarks aflögun við hitahringrás.

Um okkur

XKH sérhæfir sig í hátækniþróun, framleiðslu og sölu á sérstökum ljósleiðaraefnum og nýjum kristalefnum. Vörur okkar þjóna ljósleiðaraiðnaði, neytendarafeindatækni og hernum. Við bjóðum upp á safír-ljósleiðaraíhluti, linsulok fyrir farsíma, keramik, LT, kísilkarbíð SIC, kvars og hálfleiðarakristallskífur. Með hæfni og nýjustu búnaði skarum við fram úr í óstöðluðum vöruvinnslum og stefnum að því að vera leiðandi hátæknifyrirtæki í ljósleiðaraefnum.