Hvernig getum við þynnt skífu niður í „ofurþunna“?

Hvernig getum við þynnt skífu niður í „ofurþunna“?
Hvað nákvæmlega er ultraþunn skífa?

Dæmigert þykktarsvið (dæmi um 8″/12″ skífur)

• Staðlað skífa:600–775 míkrómetrar

• Þunn skífa:150–200 míkrómetrar

• Ofurþunn skífa:undir 100 μm

• Mjög þunn skífa:50 μm, 30 μm eða jafnvel 10–20 μm

Af hverju eru vöfflur að þynnast?

• Minnkaðu heildarþykkt pakkans, styttu TSV lengdina og minnkaðu RC seinkunina

• Minnkaðu viðnám í gangi og bættu varmadreifingu

• Uppfylla kröfur lokaafurðar um ultraþunna formþætti

Helstu áhættur af ofurþunnum skífum

1. Vélrænn styrkur lækkar skarpt

2. Alvarleg aflögun

3. Erfið meðhöndlun og flutningur

4. Framhliðarbyggingar eru mjög viðkvæmar; skífur eru viðkvæmar fyrir sprungum/brotum

Hvernig getum við þynnt skífu niður í ofurþunnt stig?

1. DBG (teningaskurður fyrir malun)
   Skerið skífuna að hluta til í teninga (án þess að skera alveg í gegn) þannig að hver teningur sé fyrirfram skilgreindur en skífan sé enn vélrænt tengd að aftan. Slípið síðan skífuna að aftan til að minnka þykktina og fjarlægið smám saman óskorna sílikonið sem eftir er. Að lokum er síðasta þunna kísillagið slípað í gegn, sem lýkur einangrun.

2. Taiko-ferlið
   Þynnið aðeins miðhluta skífunnar en haldið brúnunum þykkum. Þykkari brúnin veitir vélrænan stuðning, sem hjálpar til við að draga úr aflögun og meðhöndlunarhættu.

3. Tímabundin líming á skífum
   Tímabundin líming festir skífuna viðtímabundinn flutningsaðiliog breytir afar brothættri, filmulaga skífu í sterka, vinnsluhæfa einingu. Burðarefnið styður skífuna, verndar framhliðina og dregur úr hitaálagi - sem gerir kleift að þynna hana niður ítugir míkronaen gerir samt kleift að framkvæma árásargjarn ferli eins og myndun TSV, rafhúðun og límingu. Þetta er ein mikilvægasta tæknin sem gerir nútíma þrívíddarumbúðir mögulegar.