Efnisyfirlit
1. Yfirlit og kjarnastarfsemi FOUP
2. Uppbygging og hönnunareiginleikar FOUP
3. Flokkun og notkunarleiðbeiningar fyrir FOUP
4. Aðgerðir og mikilvægi FOUP í framleiðslu hálfleiðara
5. Tæknilegar áskoranir og framtíðarþróun
6. Sérsniðnar lausnir og þjónustustuðningur XKH
Í framleiðsluferli hálfleiðara er Front Opening Unified Pod (FOUP) mikilvægur ílát sem notað er til að vernda, flytja og geyma skífur. Innra rými þess getur rúmað 25 stykki af 300 mm skífum og helstu íhlutir þess eru ílát sem opnast að framan og sérstakan hurðarkarm til opnunar og lokunar. FOUP er kjarnaflutningsaðili í sjálfvirku flutningskerfi innan 12 tommu skífuframleiðslu. Hann er venjulega fluttur í lokuðu ástandi og opnast aðeins þegar honum er ýtt að hleðslutengi búnaðarins, sem gerir kleift að flytja skífurnar í hleðslu-/losunartengi búnaðarins.
Hönnun FOUP-kerfisins er aðlöguð að kröfum örumhverfisins. Það er með raufar að aftan fyrir innsetningu skífna og lokið er sérstaklega hannað til að passa við klemmu opnarans. Vöfflumeðhöndlunarvélmenni starfa í umhverfi með hreinu lofti af 1. flokki, sem tryggir að skífurnar mengist ekki við flutning. Ennfremur er FOUP-kerfið flutt á milli vinnslutækja með sjálfvirku efnismeðhöndlunarkerfi (AMHS). Nútíma skífuverksmiðjur nota að mestu leyti járnbrautarkerfi yfir höfuð til flutnings, en nokkrar eldri verksmiðjur kunna að nota sjálfvirk stýrð ökutæki (AGV) á jörðu niðri.
FOUP gerir ekki aðeins kleift að flytja skífur sjálfkrafa heldur gegnir einnig geymsluhlutverki. Vegna fjölmargra framleiðsluskrefa getur það tekið skífur marga mánuði að ljúka öllu ferlinu. Í bland við mikla mánaðarlega framleiðslu þýðir þetta að tugþúsundir skífa innan verksmiðju eru stöðugt á flutningi eða í tímabundinni geymslu á hverjum tíma. Meðan á geymslu stendur eru FOUP-um köfnunarefnishreinsaðar reglulega til að koma í veg fyrir að mengunarefni komist í snertingu við skífurnar, sem tryggir hreint og áreiðanlegt framleiðsluferli.
1. Hlutverk og mikilvægi FOUP
Kjarnahlutverk FOUP er að vernda skífur gegn utanaðkomandi höggum og mengun, sérstaklega að forðast áhrif á afköst við flutning. Það kemur í veg fyrir raka á áhrifaríkan hátt með aðferðum eins og gashreinsun og staðbundinni andrúmsloftsstýringu (LAC), sem tryggir að skífurnar haldist í öruggu ástandi meðan þær bíða næsta framleiðslustigs. Lokað og stýrt kerfi þess leyfir aðeins nauðsynlegum efnasamböndum og frumefnum að komast inn, sem dregur verulega úr skaðlegum áhrifum VOC, súrefnis og raka á skífurnar.
Þar sem FOUP-flaska, fullhlaðin 25 skífum, getur vegið allt að 9 kíló, verður flutningur hennar að reiða sig á sjálfvirkt efnismeðhöndlunarkerfi (AMHS). Til að auðvelda þetta er FOUP-flaskan hönnuð með ýmsum samsetningum af tengiplötum, pinnum og götum og er búin RFID rafrænum merkjum til að auðvelda auðkenningu og flokkun. Þessi sjálfvirka meðhöndlun krefst nánast engri handvirkrar aðgerðar, sem dregur verulega úr villutíðni og eykur öryggi og nákvæmni framleiðsluferlisins.
2. Uppbygging og flokkun FOUP
Dæmigerðar mál FOUP-lyftu eru um það bil 420 mm á breidd, 335 mm á dýpt og 335 mm á hæð. Helstu burðarþættir þess eru: sveppahaus (OHT) að ofan til að flytja lyftubúnað; framhurð fyrir aðgang að búnaðarþynnum; hliðarhönd, oft litakóðuð til að greina á milli vinnslusvæða með mismunandi mengunarstigi; kortasvæði til að setja skilaboðakort; og RFID-merki að neðan sem þjónar sem einstakt auðkenni FOUP-lyftunnar, sem gerir verkfærum og lyftubúnaði kleift að þekkja hana. Botninn er einnig búinn fjórum auðkenningar- og staðsetningargötum til að para saman verkfæri og greina á milli vinnslusvæða.
Byggt á notkun eru FOUP flokkuð í þrjár gerðir: PRD (fyrir framleiðslu), ENG (fyrir verkfræðiskífur) og MON (fyrir eftirlitsskífur). PRD FOUP geta verið notuð til vöruframleiðslu, ENG gerðir henta fyrir rannsóknir og þróun eða tilraunir, og MON gerðir eru tileinkaðar ferlaeftirliti fyrir skref eins og CMP og DIFF. Mikilvægt er að hafa í huga að PRD FOUP geta verið notuð bæði fyrir ENG og MON tilgangi, og ENG gerðir geta verið notaðar fyrir MON, en öfug aðgerð hefur í för með sér gæðaáhættu.
FOUP-efni eru flokkuð eftir mengunarstigi og má skipta þeim í FE FOUP (framhliðarferli, málmlaust), BE FOUP (afturhliðarferli, inniheldur málm) og þau sem eru sérhæfð fyrir tiltekin málmferli eins og NI FOUP, CU FOUP og CO FOUP. FOUP-efni fyrir mismunandi ferli eru venjulega aðgreind eftir lit hliðarhandfanga eða hurðarspjalda. FOUP-efni frá framhliðarferlum má nota í aftari ferlum, en aftari FOUP-efni má aldrei nota í framhliðarferlum, þar sem það myndi valda mengunarhættu.
Sem lykilframleiðandi í hálfleiðaraframleiðslu tryggir FOUP, með mikilli sjálfvirkni og ströngum mengunareftirliti, öryggi og hreinleika skífa í framleiðsluferlinu, sem gerir það að ómissandi innviði í nútíma skífuverksmiðjum.
Niðurstaða
XKH hefur skuldbundið sig til að veita viðskiptavinum sínum sérsniðnar lausnir fyrir sameinaða pod-púða (FOUP), sem fylgja nákvæmlega þínum sérstöku ferlakröfum og forskriftum um tengiviðmót búnaðar. Með því að nýta háþróaða efnistækni og nákvæmar framleiðsluferla tryggjum við að hver FOUP vara skili framúrskarandi loftþéttleika, hreinleika og vélrænum stöðugleika. Tækniteymi okkar býr yfir mikilli þekkingu á greininni og býður upp á alhliða stuðning við líftíma framleiðslu - allt frá ráðgjöf um val og hagræðingu á burðarvirki til þrifa og viðhalds - sem tryggir óaðfinnanlega samþættingu og skilvirkt samstarf milli FOUP og sjálfvirks efnismeðhöndlunarkerfis þíns (AMHS) sem og vinnslubúnaðar. Við forgangsraðum öryggi skífa og aukinni framleiðslugetu sem aðalmarkmið okkar. Með nýstárlegum vörum og alhliða tæknilegri þjónustu veitum við trausta ábyrgð á framleiðsluferlum hálfleiðara þinna, sem að lokum eykur framleiðsluhagkvæmni og framleiðslugetu.
Birtingartími: 8. september 2025