8 tommu kísilþynnu úr P/N-gerð (100) 1-100Ω endurvinnsluundirlagi
Kynna oblátukassa
8 tommu kísilþynna er algengt kísilundirlagsefni og er mikið notuð í framleiðsluferli samþættra hringrása. Slíkar kísilþynnur eru almennt notaðar til að búa til ýmsar gerðir af samþættum hringrásum, þar á meðal örgjörva, minnisflögur, skynjara og önnur rafeindatæki. 8 tommu kísilþynnur eru almennt notaðar til að búa til tiltölulega stórar flögur, með kostum eins og stærra yfirborðsflatarmáli og möguleikanum á að búa til fleiri flögur á einni kísilþynnu, sem leiðir til aukinnar framleiðsluhagkvæmni. 8 tommu kísilþynnan hefur einnig góða vélræna og efnafræðilega eiginleika, sem henta vel fyrir stórfellda framleiðslu samþættra hringrása.
Vörueiginleikar
8" P/N gerð, slípuð kísillskífa (25 stk.)
Stefnumörkun: 200
Viðnám: 0,1 - 40 ohm•cm (Getur verið mismunandi eftir framleiðslulotum)
Þykkt: 725 +/- 20 µm
Fyrsta/Skjár/Prófunareinkunn
EFNISEIGINLEIKAR
| Færibreyta | Einkenni |
| Tegund/Dópefni | P, bór N, fosfór N, antímon N, arsen |
| Stefnumörkun | <100>, <111> sneiðar af stefnumörkun samkvæmt forskrift viðskiptavinarins |
| Súrefnisinnihald | 1019 áraSérsniðnar vikmörk samkvæmt forskrift viðskiptavinar |
| Kolefnisinnihald | < 0,6 ppmA |
VÉLFRÆÐILEGIR EIGINLEIKAR
| Færibreyta | Prime | Eftirlit/prófun A | Próf |
| Þvermál | 200 ± 0,2 mm | 200 ± 0,2 mm | 200 ± 0,5 mm |
| Þykkt | 725 ± 20 µm (staðlað) | 725 ± 25 µm (staðlað) 450 ± 25 µm 625±25µm 1000±25µm 1300±25µm 1500±25 µm | 725 ± 50 µm (staðlað) |
| TTV | < 5 µm | < 10 µm | < 15 µm |
| Bogi | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
| Vefja | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
| Kantnálun | Hálf-kynþátta | ||
| Merking | Aðeins aðal PARÍBÚÐ, PARÍBÚÐAR STAÐAR ÍBÚÐIR LEIKMENN Í JEIDA, HÖLL | ||
| Færibreyta | Prime | Eftirlit/prófun A | Próf |
| Viðmiðanir á framhlið | |||
| Yfirborðsástand | Efnafræðilega vélrænt slípað | Efnafræðilega vélrænt slípað | Efnafræðilega vélrænt slípað |
| Yfirborðsgrófleiki | < 2°C | < 2°C | < 2°C |
| Mengun Agnir við >0,3 µm | = 20 | = 20 | = 30 |
| Mistur, gryfjur Appelsínubörkur | Enginn | Enginn | Enginn |
| Sög, Marks Rákir | Enginn | Enginn | Enginn |
| Viðmiðanir á bakhliðinni | |||
| Sprungur, krákufætur, sagmerki, blettir | Enginn | Enginn | Enginn |
| Yfirborðsástand | Ætandi etsað | ||
Ítarlegt skýringarmynd





