12 tommu safírskífa fyrir framleiðslu á hálfleiðurum í miklu magni

12 tommu safírskífa fyrir framleiðslu á háum magni af hálfleiðurum. Mynd af vöru.

Stutt lýsing:

12 tommu safírskífan er hönnuð til að mæta vaxandi eftirspurn eftir framleiðslu á stórum, afkastamikilli hálfleiðurum og ljósleiðurum. Þar sem tækjaarkitektúr heldur áfram að stækka og framleiðslulínur færast í átt að stærri skífuformum, bjóða safírundirlag með afar stórum þvermál upp á greinilega kosti í framleiðni, hagræðingu á afköstum og kostnaðarstýringu.

Senda okkur tölvupóst

Eiginleikar

Ítarlegt skýringarmynd

Kynning á 12 tommu safírskífu

12 tommu safírskífurnar okkar eru framleiddar úr hágæða einkristalla Al₂O₃ og sameina framúrskarandi vélrænan styrk, hitastöðugleika og yfirborðsgæði. Með bjartsýni á kristalvöxt og nákvæmri skífuvinnslu skila þessir undirlagar áreiðanlegum árangri fyrir háþróaða LED, GaN og sérstaka hálfleiðaraforrit.

Efnisleg einkenni

Safír (einnkristallað áloxíð, Al₂O₃) er vel þekkt fyrir framúrskarandi eðlis- og efnafræðilega eiginleika. 12 tommu safírskífur erfa alla kosti safírefnisins en bjóða upp á mun stærra nothæft yfirborðsflatarmál.

Helstu eiginleikar efnisins eru meðal annars:

Mjög mikil hörku og slitþol
Frábær hitastöðugleiki og hátt bræðslumark
Yfirburða efnaþol gegn sýrum og basum
Mikil ljósfræðileg gegnsæi frá útfjólubláum til innrauðum bylgjulengdum
Frábærir rafmagns einangrunareiginleikar

Þessir eiginleikar gera 12 tommu safírskífur hentugar fyrir erfiðar vinnsluumhverfi og framleiðsluferla hálfleiðara við háan hita.

Framleiðsluferli

Framleiðsla á 12 tommu safírskífum krefst háþróaðrar kristalvaxtar og afar nákvæmrar vinnslutækni. Algengt framleiðsluferli felur í sér:

Vöxtur eins kristalla
Háhreinir safírkristallar eru ræktaðir með háþróuðum aðferðum eins og KY eða öðrum tækni til vaxtar stórra kristalla, sem tryggir einsleita stefnumörkun kristalla og lágt innra álagi.
Kristalmótun og sneiðing
Safírstöngin er nákvæmlega mótuð og skorin í 12 tommu skífur með mikilli nákvæmni skurðarbúnaði til að lágmarka skemmdir á undirborðinu.
Lapping og pússun
Fjölþrepa slípun og efnafræðileg vélræn fæging (CMP) eru beitt til að ná framúrskarandi yfirborðsgrófleika, flatneskju og þykktarjöfnu.
Þrif og skoðun
Hver 12 tommu safírskífa gengst undir ítarlega hreinsun og stranga skoðun, þar á meðal greiningu á yfirborðsgæðum, TTV, boga, vinda og galla.

Umsóknir

12 tommu safírskífur eru mikið notaðar í háþróaðri og nýrri tækni, þar á meðal:

LED undirlag með mikilli afköstum og mikilli birtu
GaN-byggð aflgjafatæki og RF-tæki
Hálfleiðarabúnaður og einangrandi undirlag
Sjóngler og stórir sjónhlutar
Háþróuð hálfleiðaraumbúðir og sérstakir ferlisflutningsaðilar

Stór þvermál gerir kleift að auka afköst og auka kostnaðarhagkvæmni í fjöldaframleiðslu.

Kostir 12 tommu safírskífa

Stærra nothæft svæði fyrir meiri afköst tækisins á hverja skífu
Bætt samræmi og einsleitni í ferlum
Lækkaður kostnaður á hvert tæki í stórum framleiðslum
Frábær vélrænn styrkur fyrir meðhöndlun stórra hluta
Sérsniðnar forskriftir fyrir mismunandi forrit

Sérstillingarvalkostir

Við bjóðum upp á sveigjanlega sérstillingu fyrir 12 tommu safírskífur, þar á meðal:

Kristalstefnumörkun (C-plan, A-plan, R-plan, o.s.frv.)
Þykktar- og þvermálsþol
Einhliða eða tvíhliða fæging
Kantsnið og affasað hönnun
Kröfur um yfirborðsgrófleika og flatleika

Færibreyta	Upplýsingar	Athugasemdir
Þvermál skífunnar	12 tommur (300 mm)	Staðlað stórt þvermál skífu
Efni	Einkristalls safír (Al₂O₃)	Háhreinleiki, rafrænn/sjónrænn gæðaflokkur
Kristalstefnu	C-plan (0001), A-plan (11-20), R-plan (1-102)	Valfrjálsar stefnur í boði
Þykkt	430–500 míkrómetrar	Sérsniðin þykkt í boði ef óskað er
Þykktarþol	±10 míkrómetrar	Þröng þolmörk fyrir háþróaða tæki
Heildarþykktarbreyting (TTV)	≤10 míkrómetrar	Tryggir jafna vinnslu á öllum skífum
Bogi	≤50 míkrómetrar	Mælt yfir alla skífuna
Undirvinda	≤50 míkrómetrar	Mælt yfir alla skífuna
Yfirborðsáferð	Einhliða slípað (SSP) / Tvöföld hlið slípuð (DSP)	Hágæða yfirborð
Yfirborðsgrófleiki (Ra)	≤0,5 nm (slípað)	Sléttleiki á atómstigi fyrir epitaxialvöxt
Kantsnið	Skaut / Rúnnuð brún	Til að koma í veg fyrir flísun við meðhöndlun
Nákvæmni stefnu	±0,5°	Tryggir rétta vöxt epitaxísks lags
Gallaþéttleiki	<10 cm⁻²	Mælt með sjónrænni skoðun
Flatleiki	≤2 μm / 100 mm	Tryggir jafna litografíu og epitaxialvöxt
Hreinlæti	100. flokkur – 1000. flokkur	Samhæft við hreinlætisrými
Sjónræn sending	>85% (útfjólublátt–innrautt ljós)	Fer eftir bylgjulengd og þykkt

Algengar spurningar um 12 tommu safírskífur

Q1: Hver er staðlað þykkt 12 tommu safírskífu?
A: Staðlaða þykktin er á bilinu 430 μm til 500 μm. Einnig er hægt að framleiða sérsniðnar þykktir eftir kröfum viðskiptavina.

Q2: Hvaða kristalstefnur eru í boði fyrir 12 tommu safírskífur?
A: Við bjóðum upp á C-plan (0001), A-plan (11-20) og R-plan (1-102) stefnur. Hægt er að aðlaga aðrar stefnur að kröfum tiltekinna tækja.

Spurning 3: Hver er heildarþykktarbreytingin (TTV) á skífunni?
A: 12 tommu safírskífur okkar hafa venjulega TTV ≤10 μm, sem tryggir einsleitni yfir allt yfirborð skífunnar fyrir hágæða tækjaframleiðslu.

Um okkur

XKH sérhæfir sig í hátækniþróun, framleiðslu og sölu á sérstökum ljósleiðaraefnum og nýjum kristalefnum. Vörur okkar þjóna ljósleiðaraiðnaði, neytendarafeindatækni og hernum. Við bjóðum upp á safír-ljósleiðaraíhluti, linsulok fyrir farsíma, keramik, LT, kísilkarbíð SIC, kvars og hálfleiðarakristallskífur. Með hæfni og nýjustu búnaði skarum við fram úr í óstöðluðum vöruvinnslum og stefnum að því að vera leiðandi hátæknifyrirtæki í ljósleiðaraefnum.