Hvað þýða TTV, BOW, WARP og TIR í skífum?

Þegar við skoðum hálfleiðara kísilþynnur eða undirlag úr öðrum efnum rekumst við oft á tæknilega vísbendingar eins og: TTV, BOW, WARP og hugsanlega TIR, STIR, LTV, svo eitthvað sé nefnt. Hvaða færibreytur tákna þetta?

TTV — Heildarþykktarbreyting
BOW — Bogi
VARP — Varp
TIR — Heildartilgreind lestur
HRÆRA — Heildarmæling á staðnum
LTV — Staðbundin þykktarbreyting

1. Heildarþykktarbreyting — TTV

Mismunurinn á hámarks- og lágmarksþykkt skífunnar miðað við viðmiðunarflötinn þegar skífan er klemmd og í náinni snertingu. Hann er almennt mældur í míkrómetrum (μm), oft táknaður sem: ≤15 μm.

2. Bogi — Bogi

Frávikið á milli lágmarks- og hámarksfjarlægðar frá miðpunkti yfirborðs skífunnar að viðmiðunarplaninu þegar skífan er í frjálsu (óklemmdu) ástandi. Þetta á við um bæði íhvolfa (neikvæða beygju) og kúptar (jákvæða beygju) tilvik. Það er venjulega gefið upp í míkrómetrum (μm), oft táknað sem: ≤40 μm.

3. Undið — Undið

Frávikið á milli lágmarks- og hámarksfjarlægðar frá yfirborði skífunnar að viðmiðunarplaninu (venjulega bakhlið skífunnar) þegar skífan er í frjálsu (óklemmdu) ástandi. Þetta á við bæði íhvolf (neikvæð vöf) og kúpt (jákvæð vöf) tilvik. Það er almennt gefið upp í míkrómetrum (μm), oft táknað sem: ≤30 μm.

4. Heildarmæling — TIR

Þegar skífan er klemmd og í náinni snertingu, með því að nota viðmiðunarplan sem lágmarkar summu skurðpunkta allra punkta innan gæðasvæðisins eða tilgreints staðbundins svæðis á yfirborði skífunnar, er TIR frávikið milli hámarks- og lágmarksfjarlægðar frá yfirborði skífunnar að þessu viðmiðunarplani.

XKH byggir á djúpri þekkingu á forskriftum hálfleiðaraefna eins og TTV, BOW, WARP og TIR og býður upp á nákvæma sérsniðna skífuvinnsluþjónustu sem er sniðin að ströngum iðnaðarstöðlum. Við bjóðum upp á og styðjum fjölbreytt úrval af hágæða efnum, þar á meðal safír, kísilkarbíð (SiC), kísilskífur, SOI og kvars, sem tryggir einstaka flatneskju, þykktarsamkvæmni og yfirborðsgæði fyrir háþróaða notkun í ljósfræðilegum rafeindabúnaði, aflgjafatækjum og MEMS. Treystu okkur til að afhenda áreiðanlegar efnislausnir og nákvæma vinnslu sem uppfyllir ströngustu hönnunarkröfur þínar.