Með stöðugri þróun hálfleiðaratækni, í hálfleiðaraiðnaðinum og jafnvel ljósvakaiðnaðinum, eru kröfur um yfirborðsgæði yfirborðs undirlagsins eða epitaxial laksins einnig mjög strangar.Svo, hverjar eru gæðakröfur fyrir oblátur?Með því að taka safírplötur sem dæmi, hvaða vísbendingar er hægt að nota til að meta yfirborðsgæði obláta?
Hver eru vísbendingar um mat á oblátum?
Vísarnir þrír
Fyrir safírplötur eru matsvísar hennar heildarþykktarfrávik (TTV), beygja (boga) og undið (undið).Þessar þrjár breytur endurspegla saman flatleika og þykkt einsleitni kísilskífunnar og geta mælt gárastig skúffunnar.Hægt er að sameina bylgjuna við flatleikann til að meta gæði yfirborðs yfirborðsins.
Hvað er TTV, BOW, Warp?
TTV (Total Thickness Variation)
TTV er munurinn á hámarks- og lágmarksþykkt obláts.Þessi breytu er mikilvægur vísir sem notaður er til að mæla einsleitni oblátþykktar.Í hálfleiðaraferli verður þykkt skífunnar að vera mjög jöfn yfir allt yfirborðið.Mælingar eru venjulega gerðar á fimm stöðum á skífunni og munurinn reiknaður út.Að lokum er þetta gildi mikilvægur grunnur til að dæma gæði oblátunnar.
Bogi
Bogi í hálfleiðaraframleiðslu vísar til beygju á oblátu, sem losar um fjarlægðina milli miðpunkts óklemmdrar skífu og viðmiðunarplans.Orðið kemur líklega frá lýsingu á lögun hlutar þegar hann er boginn, eins og bogalaga lögun.Bow gildi er skilgreint með því að mæla frávik milli miðju og brúnar kísilskífunnar.Þetta gildi er venjulega gefið upp í míkrómetrum (µm).
Undið
Warp er alþjóðlegur eiginleiki obláta sem mælir muninn á hámarks- og lágmarksfjarlægð milli miðrar óklemmdrar oblátu og viðmiðunarplansins.Táknar fjarlægðina frá yfirborði kísilskífunnar að planinu.
Hver er munurinn á TTV, Bow, Warp?
TTV einbeitir sér að breytingum á þykkt og hefur ekki áhyggjur af beygingu eða bjögun á disknum.
Bow leggur áherslu á heildarbeygjuna, aðallega miðað við beygju miðpunktsins og brúnarinnar.
Varp er yfirgripsmeira, þar á meðal beygja og snúa á öllu yfirborði fletsins.
Þrátt fyrir að þessar þrjár breytur séu tengdar lögun og rúmfræðilegum eiginleikum kísilskífunnar eru þær mældar og lýst á annan hátt og áhrif þeirra á hálfleiðaraferlið og skífuvinnsluna eru einnig mismunandi.
Því minni sem færibreyturnar þrjár eru, því betri, og því stærri sem færibreytan er, því meiri eru neikvæð áhrif á hálfleiðaraferlið.Þess vegna, sem hálfleiðara iðkandi, verðum við að gera sér grein fyrir mikilvægi obláta prófílbreyta fyrir allt ferli ferlið, gera hálfleiðara ferli, verður að borga eftirtekt til smáatriði.
（ritskoðun）
Birtingartími: 24. júní 2024