Með sífelldri þróun hálfleiðaratækni, í hálfleiðaraiðnaðinum og jafnvel sólarorkuiðnaðinum, eru kröfur um yfirborðsgæði skífuundirlagsins eða epitaxialplötunnar einnig mjög strangar. Hverjar eru þá gæðakröfurnar fyrir skífur?safírflaskaSem dæmi, hvaða vísbendingar er hægt að nota til að meta yfirborðsgæði skífa?
Hverjir eru matsvísar á skífum?
Þrír vísbendingar
Fyrir safírskífur eru matsvísarnir heildarþykktarfrávik (TTV), beygja (Bow) og vörpun (Warp). Þessir þrír þættir saman endurspegla flatneskju og þykktarjöfnuð kísilskífunnar og geta mælt hversu mikil öldur eru á skífunni. Hægt er að sameina bylgjuna og flatneskjuna til að meta gæði yfirborðs skífunnar.
Hvað er TTV, BOW, Warp?
TTV (heildarþykktarbreyting)
TTV er mismunurinn á hámarks- og lágmarksþykkt skífu. Þessi breyta er mikilvægur vísir sem notaður er til að mæla einsleitni skífuþykktar. Í hálfleiðaraferli verður þykkt skífunnar að vera mjög jafn yfir allt yfirborðið. Mælingar eru venjulega gerðar á fimm stöðum á skífunni og mismunurinn reiknaður út. Að lokum er þetta gildi mikilvægur grundvöllur fyrir því að meta gæði skífunnar.
Bogi
Í framleiðslu hálfleiðara vísar orðið „bogi“ til beygju á kísilplötu, sem minnkar bilið á milli miðpunkts óklemmdrar skífu og viðmiðunarplansins. Orðið kemur líklega frá lýsingu á lögun hlutar þegar hann er beygður, eins og bogadregin lögun boga. Bogagildið er skilgreint með því að mæla frávikið milli miðju og brúnar kísilplötunnar. Þetta gildi er venjulega gefið upp í míkrómetrum (µm).
Undirvinda
Undirliggjandi er alhliða eiginleiki skífa sem mælir mismuninn á hámarks- og lágmarksfjarlægð milli miðju frjálslega óklemmdrar skífu og viðmiðunarplansins. Táknar fjarlægðina frá yfirborði kísilskífunnar að planinu.
Hver er munurinn á TTV, boga og warp?
TTV einbeitir sér að breytingum á þykkt og hefur ekki áhyggjur af beygju eða aflögun skífunnar.
Bogi leggur áherslu á heildarbeygjuna, aðallega með hliðsjón af beygju miðpunktsins og brúnarinnar.
Undið er umfangsmeiri, þar á meðal beygja og snúningur á öllu yfirborði skífunnar.
Þó að þessir þrír þættir tengist lögun og rúmfræðilegum eiginleikum kísilplötunnar, eru þeir mældir og lýstir á mismunandi hátt, og áhrif þeirra á hálfleiðaraferlið og vinnslu plötunnar eru einnig mismunandi.
Því minni sem þrír færibreyturnar eru, því betra, og því stærri sem færibreytan er, því meiri neikvæð áhrif hefur hún á hálfleiðaraferlið. Þess vegna verðum við sem hálfleiðarafræðingar að gera okkur grein fyrir mikilvægi sniðfæribreytna fyrir allt ferlið og í hálfleiðaraferlinu verðum við að huga að smáatriðunum.
(ritskoðun)
Birtingartími: 24. júní 2024