Djúpur skilningur á SPC kerfinu í Wafer Manufacturing

1. Yfirlit yfir SPC kerfið

SPC er aðferð sem notar tölfræðilega tækni til að fylgjast með og stjórna framleiðsluferlum. Kjarnahlutverk þess er að greina frávik í framleiðsluferlinu með því að safna og greina rauntímagögn, hjálpa verkfræðingum að taka tímanlega aðlögun og ákvarðanir. Markmið SPC er að draga úr breytileika í framleiðsluferlinu, tryggja að vörugæði haldist stöðug og uppfylli forskriftir.

SPC er notað í ætingarferlinu til að:

Fylgstu með mikilvægum breytum búnaðar (td ætunarhraða, RF afl, hólfaþrýsting, hitastig osfrv.)

Greindu helstu vörugæðavísa (td línubreidd, ætingardýpt, ójöfnur brúnar osfrv.)

Með því að fylgjast með þessum breytum geta verkfræðingar greint þróun sem gefur til kynna hnignun á frammistöðu búnaðar eða frávik í framleiðsluferlinu og þannig dregið úr brotahlutfalli.

2. Grunnþættir SPC kerfisins

SPC kerfið er samsett úr nokkrum lykileiningum:

Gagnasöfnunareining: Safnar rauntímagögnum úr búnaði og vinnsluflæði (td í gegnum FDC, EES kerfi) og skráir mikilvægar breytur og framleiðsluniðurstöður.

Control Chart Module: Notar tölfræðileg stýrikort (td X-Bar graf, R graf, Cp/Cpk graf) til að sjá stöðugleika ferlisins og hjálpa til við að ákvarða hvort ferlið sé við stjórn.

Viðvörunarkerfi: Kveikir á viðvörun þegar mikilvægar breytur fara yfir stjórnmörk eða sýna breytingar á þróun, sem hvetur verkfræðinga til að grípa til aðgerða.

Greining og skýrslugerðareining: Greinir rót frávika út frá SPC töflum og býr reglulega til árangursskýrslur fyrir ferlið og búnaðinn.

3. Ítarleg útskýring á stýrikortum í SPC

Stýritöflur eru eitt af algengustu verkfærunum í SPC, sem hjálpa til við að greina á milli „eðlilegrar breytileika“ (af völdum náttúrulegra breytinga á ferli) og „óeðlilegra breytinga“ (af völdum bilana í búnaði eða vinnslufrávika). Algengar stjórntöflur innihalda:

X-Bar og R töflur: Notað til að fylgjast með meðaltali og bili innan framleiðslulota til að athuga hvort ferlið sé stöðugt.

Cp og Cpk vísitölur: Notað til að mæla vinnslugetu, þ.e. hvort vinnsluframleiðsla geti stöðugt uppfyllt kröfur forskriftar. Cp mælir hugsanlega getu, en Cpk telur frávik vinnslustöðvarinnar frá forskriftarmörkum.

Til dæmis, í ætingarferlinu, gætirðu fylgst með breytum eins og ætingarhraða og yfirborðsgrófleika. Ef ætingarhraði ákveðins búnaðar fer yfir stjórnunarmörk, geturðu notað stjórntöflur til að ákvarða hvort þetta sé náttúruleg afbrigði eða vísbending um bilun í búnaði.

4. Notkun SPC í ætingarbúnaði

Í ætingarferlinu er það mikilvægt að stjórna færibreytum búnaðar og SPC hjálpar til við að bæta vinnslustöðugleika á eftirfarandi hátt:

Vöktun búnaðarástands: Kerfi eins og FDC safna rauntímagögnum um helstu breytur ætingarbúnaðar (td RF afl, gasflæði) og sameina þessi gögn með SPC stjórnkortum til að greina hugsanleg vandamál í búnaði. Til dæmis, ef þú sérð að RF aflið á stjórntöflu er smám saman að víkja frá settu gildi, getur þú gripið til aðgerða snemma til aðlögunar eða viðhalds til að forðast að hafa áhrif á gæði vörunnar.

Vöktun vörugæða: Þú getur líka sett inn helstu vörugæðafæribreytur (td etsdýpt, línubreidd) í SPC kerfið til að fylgjast með stöðugleika þeirra. Ef sumir mikilvægir vöruvísar víkja smám saman frá markgildum mun SPC kerfið gefa frá sér viðvörun sem gefur til kynna að þörf sé á aðlögun ferlisins.

Fyrirbyggjandi viðhald (PM): SPC getur hjálpað til við að hámarka fyrirbyggjandi viðhaldsferil fyrir búnað. Með því að greina langtímagögn um frammistöðu búnaðar og vinnsluniðurstöður geturðu ákvarðað ákjósanlegan tíma fyrir viðhald búnaðar. Til dæmis, með því að fylgjast með RF-afli og ESC-líftíma, geturðu ákvarðað hvenær hreinsunar eða endurnýjunar íhluta er þörf, sem dregur úr bilunartíðni í búnaði og framleiðslustöðvun.

5. Ráðleggingar um daglega notkun fyrir SPC kerfið

Þegar SPC kerfið er notað í daglegum rekstri er hægt að fylgja eftirfarandi skrefum:

Skilgreindu lykilstýringarfæribreytur (KPI): Tilgreindu mikilvægustu færibreyturnar í framleiðsluferlinu og taktu þær inn í SPC eftirlit. Þessar breytur ættu að vera nátengdar vörugæðum og frammistöðu búnaðar.

Stilltu eftirlitsmörk og viðvörunarmörk: Byggt á sögulegum gögnum og kröfum um ferli, stilltu hæfileg eftirlitsmörk og viðvörunarmörk fyrir hverja færibreytu. Stjórnunarmörk eru venjulega sett á ±3σ (staðalfrávik), en viðvörunarmörk eru byggð á sérstökum aðstæðum ferlisins og búnaðarins.

Stöðugt eftirlit og greining: Farðu reglulega yfir SPC stjórntöflur til að greina þróun og afbrigði gagna. Ef sumar færibreytur fara yfir stjórnunarmörk þarf tafarlausa aðgerð, svo sem að stilla færibreytur búnaðar eða framkvæma viðhald búnaðar.

Meðhöndlun frávika og greining á rótum: Þegar óeðlilegt gerist skráir SPC kerfið nákvæmar upplýsingar um atvikið. Þú þarft að bilanaleita og greina undirrót afbrigðileikans út frá þessum upplýsingum. Oft er hægt að sameina gögn úr FDC kerfum, EES kerfum o.s.frv., til að greina hvort málið sé vegna bilunar í búnaði, ferli frávika eða ytri umhverfisþátta.

Stöðugar umbætur: Notaðu söguleg gögn sem skráð eru af SPC kerfinu, auðkenndu veika punkta í ferlinu og leggðu til umbótaáætlanir. Til dæmis, í ætingarferlinu, greina áhrif ESC líftíma og hreinsunaraðferða á viðhaldsferli búnaðar og fínstilla stöðugt rekstrarfæribreytur búnaðar.

6. Hagnýtt umsóknarmál

Sem hagnýtt dæmi, segjum sem svo að þú sért ábyrgur fyrir ætingarbúnaðinum E-MAX og bakskautið í hólfinu sé að upplifa ótímabært slit, sem leiðir til hækkunar á D0 (BARC galla) gildum. Með því að fylgjast með RF aflinu og ætunarhraðanum í gegnum SPC kerfið tekur þú eftir þróun þar sem þessar breytur víkja smám saman frá settum gildum. Eftir að SPC viðvörun hefur verið kveikt sameinar þú gögn frá FDC kerfinu og ákveður að vandamálið stafi af óstöðugri hitastýringu inni í hólfinu. Þú innleiðir síðan nýjar hreinsunaraðferðir og viðhaldsaðferðir, lækkar að lokum D0 gildið úr 4,3 í 2,4 og bætir þar með gæði vörunnar.

7.Í XINKEHUI er hægt að fá.

Hjá XINKEHUI geturðu náð hinni fullkomnu oblátu, hvort sem það er sílikon obláta eða SiC obláta. Við sérhæfum okkur í að afhenda hágæða oblátur fyrir ýmsar atvinnugreinar, með áherslu á nákvæmni og frammistöðu.