Djúp skilningur á SPC kerfinu í framleiðslu á skífum

1. Yfirlit yfir SPC kerfið

SPC er aðferð sem notar tölfræðilegar aðferðir til að fylgjast með og stjórna framleiðsluferlum. Meginhlutverk hennar er að greina frávik í framleiðsluferlinu með því að safna og greina rauntímagögn, sem hjálpar verkfræðingum að taka tímanlegar breytingar og ákvarðanir. Markmið SPC er að draga úr breytileika í framleiðsluferlinu og tryggja að gæði vörunnar haldist stöðug og uppfylli forskriftir.

SPC er notað í etsunarferlinu til að:

Fylgjast með mikilvægum breytum búnaðar (t.d. etshraða, útvarpsafli, þrýstingi í hólfinu, hitastigi o.s.frv.)

Greinið lykilgæðavísa vöru (t.d. línubreidd, etsdýpt, ójöfnur á brúnum o.s.frv.)

Með því að fylgjast með þessum breytum geta verkfræðingar greint þróun sem bendir til versnunar á afköstum búnaðar eða frávika í framleiðsluferlinu og þannig dregið úr úrgangshlutfalli.

2. Grunnþættir SPC kerfisins

SPC kerfið er samsett úr nokkrum lykileiningum:

Gagnasöfnunareining: Safnar rauntímagögnum úr búnaði og ferlum (t.d. í gegnum FDC, EES kerfi) og skráir mikilvægar breytur og framleiðsluniðurstöður.

Stjórnritseining: Notar tölfræðileg stjórnrit (t.d. X-Súlurit, R-rit, Cp/Cpk-rit) til að sjá stöðugleika ferla og hjálpa til við að ákvarða hvort ferlið sé undir stjórn.

Viðvörunarkerfi: Setur af stað viðvörunarkerfi þegar mikilvægir þættir fara yfir stjórnmörk eða sýna breytingar á þróun, sem hvetur verkfræðinga til að grípa til aðgerða.

Greiningar- og skýrslugerðareining: Greinir rót vandans út frá SPC-töflum og býr reglulega til afkastaskýrslur fyrir ferlið og búnaðinn.

3. Ítarleg útskýring á stýritöflum í SPC

Stjórnunarrit eru eitt algengasta verkfærið í SPC, þau hjálpa til við að greina á milli „eðlilegra breytinga“ (af völdum náttúrulegra ferlabreytinga) og „óeðlilegra breytinga“ (af völdum bilana í búnaði eða frávika í ferlum). Algeng stjórnunarrit eru meðal annars:

X-Súlurit og R-rit: Notuð til að fylgjast með meðaltali og bili innan framleiðslulota til að athuga hvort ferlið sé stöðugt.

Cp og Cpk vísitölur: Notaðar til að mæla vinnslugetu, þ.e. hvort vinnsluafköst geti stöðugt uppfyllt kröfur forskriftarinnar. Cp mælir mögulega getu, en Cpk tekur mið af fráviki vinnslumiðstöðvarinnar frá forskriftarmörkum.

Til dæmis, í etsunarferlinu gætirðu fylgst með breytum eins og etshraða og yfirborðsgrófleika. Ef etshraði ákveðins búnaðar fer yfir stjórnmörkin geturðu notað stjórntöflur til að ákvarða hvort þetta sé eðlileg breyting eða vísbending um bilun í búnaði.

4. Notkun SPC í etsbúnaði

Í etsunarferlinu er mikilvægt að stjórna breytum búnaðarins og SPC hjálpar til við að bæta stöðugleika ferlisins á eftirfarandi hátt:

Ástandseftirlit með búnaði: Kerfi eins og FDC safna rauntímagögnum um lykilþætti etsbúnaðar (t.d. útvarpsafl, gasflæði) og sameina þessi gögn við SPC stjórnkort til að greina hugsanleg vandamál með búnaðinn. Til dæmis, ef þú sérð að útvarpsafl á stjórnkorti víkur smám saman frá stilltu gildi, geturðu gripið til aðgerða snemma til að aðlaga eða viðhalda til að forðast að hafa áhrif á gæði vörunnar.

Eftirlit með vörugæðum: Einnig er hægt að slá inn lykilgæðabreytur vörunnar (t.d. etsdýpt, línubreidd) í SPC kerfið til að fylgjast með stöðugleika þeirra. Ef einhverjir mikilvægir vöruvísar víkja smám saman frá markmiðsgildunum mun SPC kerfið gefa frá sér viðvörun sem gefur til kynna að aðlögun sé nauðsynleg.

Fyrirbyggjandi viðhald (PM): Fyrirbyggjandi viðhald getur hjálpað til við að hámarka fyrirbyggjandi viðhaldsferlið fyrir búnað. Með því að greina langtímagögn um afköst búnaðar og niðurstöður ferla er hægt að ákvarða besta tímann fyrir viðhald búnaðar. Til dæmis, með því að fylgjast með RF-afli og líftíma ESC, er hægt að ákvarða hvenær þörf er á hreinsun eða íhlutum, sem dregur úr bilunartíðni búnaðar og niðurtíma framleiðslu.

5. Dagleg notkunarráð fyrir SPC kerfið

Þegar SPC kerfið er notað í daglegum rekstri er hægt að fylgja eftirfarandi skrefum:

Skilgreina lykilstýringarbreytur (KPI): Greinið mikilvægustu breyturnar í framleiðsluferlinu og takið þær með í SPC eftirliti. Þessar breytur ættu að vera nátengdar gæðum vöru og afköstum búnaðar.

Stilla stýrimörk og viðvörunarmörk: Byggt á sögulegum gögnum og kröfum ferlisins skal stilla sanngjörn stýrimörk og viðvörunarmörk fyrir hverja breytu. Stýrimörk eru venjulega stillt á ±3σ (staðalfrávik), en viðvörunarmörk eru byggð á sérstökum aðstæðum ferlisins og búnaðarins.

Stöðug eftirlit og greining: Farið reglulega yfir stjórnunartöflur SPC til að greina þróun og breytingar á gögnum. Ef einhverjar breytur fara yfir stjórnunarmörk þarf tafarlausar aðgerðir, svo sem að aðlaga breytur búnaðar eða framkvæma viðhald á búnaði.

Meðhöndlun frávika og greining á rót orsökum: Þegar frávik koma upp skráir SPC kerfið ítarlegar upplýsingar um atvikið. Þú þarft að greina bilunina og greina rót orsök fráviksins út frá þessum upplýsingum. Oft er hægt að sameina gögn úr FDC kerfum, EES kerfum o.s.frv. til að greina hvort vandamálið stafi af bilun í búnaði, fráviki í ferli eða utanaðkomandi umhverfisþáttum.

Stöðugar umbætur: Með því að nota söguleg gögn sem SPC kerfið skráir, skal greina veikleika í ferlinu og leggja til úrbótaáætlanir. Til dæmis, í etsunarferlinu, skal greina áhrif endingartíma ESC og hreinsunaraðferða á viðhaldsferli búnaðar og stöðugt fínstilla rekstrarbreytur búnaðarins.

6. Hagnýtt dæmi

Sem dæmi má nefna að þú berir ábyrgð á etsbúnaðinum E-MAX og að katóðan í hólfinu slitni ótímabært, sem leiðir til hækkunar á D0 gildum (BARC galla). Með því að fylgjast með RF afli og etshraða í gegnum SPC kerfið tekurðu eftir þróun þar sem þessar breytur víkja smám saman frá stilltum gildum sínum. Eftir að SPC viðvörun hefur verið virkjuð sameinar þú gögn úr FDC kerfinu og ákvarðar að vandamálið stafar af óstöðugri hitastýringu inni í hólfinu. Þú innleiðir síðan nýjar hreinsunaraðferðir og viðhaldsstefnur, sem að lokum lækkar D0 gildið úr 4,3 í 2,4 og bætir þannig gæði vörunnar.

7. Í XINKEHUI er hægt að fá.

Hjá XINKEHUI getur þú fengið hina fullkomnu skífu, hvort sem það er kísilskífa eða SiC-skífa. Við sérhæfum okkur í að afhenda hágæða skífur fyrir ýmsar atvinnugreinar, með áherslu á nákvæmni og afköst.